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公开(公告)号：CN105814663A
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201480062927.6
申请日：2014-11-11
Applicant: 综研化学株式会社
Inventor： 宮泽幸大
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C35/0805 , B29C59/022 , B29C2035/0827 , B29K2033/04 , B29K2105/0002
Abstract: 本发明提供能将转印于树脂层的微细图案的形状稳定性的影响降低到最小限度，同时可抑制掩模内固化侵蚀的结构体的制造方法。本发明提供一种结构体的制造方法，具备如下工序：层叠体形成工序，形成在透明基材上具备树脂层的层叠体，所述树脂层由压印用光固化性树脂组合物构成，所述压印用光固化性树脂组合物含有光聚合性单体和相对于所述单体100质量份分别为0.1质量份以上的光引发剂及阻聚剂；被覆工序，将面积比所述树脂层小且具有微细图案的模具的所述微细图案按压于所述树脂层，并且以所述树脂层中被模具按压的区域的至少一部分成为露出区域的方式，用遮光掩模（5）被覆所述层叠体；固化工序，对所述树脂层照射固化光，使所述树脂层中位于所述露出区域的部分固化；以及重复工序，使所述模具移动至所述树脂层的未固化部分，将所述被覆工序和所述固化工序重复进行1次以上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105765413A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201480062928.0
申请日：2014-11-11
Applicant: 综研化学株式会社
Inventor： 宮泽幸大
CPC classification number: G03F7/029 , C08F222/1006 , G02B1/111 , G02B1/118 , G03F7/0002 , G03F7/027 , G03F7/031
Abstract: 本发明提供一种压印用光固化性树脂组合物，至少含有光聚合性(甲基)丙烯酸系单体(A)和光引发剂(B)，所述(甲基)丙烯酸系单体(A)的混合比例是：(a?1)3官能的(甲基)丙烯酸酯化合物为60～97质量％，(a?2)4官能以上的(甲基)丙烯酸酯化合物为3～40质量％，(a?3)2官能以下的(甲基)丙烯酸酯化合物为0～37质量％，其中，(a?1)～(a?3)共计为100质量％。
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公开(公告)号：CN104937698A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201480005890.3
申请日：2014-01-21
Applicant: 综研化学株式会社
Inventor： 宮泽幸大
IPC: H01L21/027 , B29C33/38 , B29C59/02
CPC classification number: B29C35/0888 , B29C35/0805 , B29C35/0894 , B29C59/02 , B29C59/022 , B29C59/026 , B29C2035/0827 , B29C2059/023 , B29K2995/0026 , G03F7/0002
Abstract: 本发明提供一种压印方法，其具备：曝光工序，在向涂布于大面积基材上的光固化性树脂按压透光型压印用模具的状态下，以使照射到通过为使透明基材的凹凸图案再现而设置的遮光部件(5)而固化的遮光区域的光固化性树脂的光量少于照射到位于遮光区域以外的透光区域的光固化性树脂的光量的方式向光固化性树脂照射固化光，由此使位于所述遮光区域的光固化性树脂(9b)半固化；脱离工序，在曝光工序后使模具从光固化性树脂脱离；移动工序，接下来，模具的透光区域的端部以位于半固化而成的光固化性树脂(9b)上的方式使模具移动；反复工序，在移动后的位置进行曝光工序和脱离工序。
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公开(公告)号：CN105765413B
公开(公告)日：2018-07-10
申请号：CN201480062928.0
申请日：2014-11-11
Applicant: 综研化学株式会社
Inventor： 宮泽幸大
CPC classification number: G03F7/029 , C08F222/1006 , G02B1/111 , G02B1/118 , G03F7/0002 , G03F7/027 , G03F7/031
Abstract: 本发明提供一种压印用光固化性树脂组合物，至少含有光聚合性(甲基)丙烯酸系单体(A)和光引发剂(B)，所述(甲基)丙烯酸系单体(A)的混合比例是：(a‑1)3官能的(甲基)丙烯酸酯化合物为60～97质量％，(a‑2)4官能以上的(甲基)丙烯酸酯化合物为3～40质量％，(a‑3)2官能以下的(甲基)丙烯酸酯化合物为0～37质量％，其中，(a‑1)～(a‑3)共计为100质量％。
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公开(公告)号：CN105814663B
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201480062927.6
申请日：2014-11-11
Applicant: 综研化学株式会社
Inventor： 宮泽幸大
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C35/0805 , B29C59/022 , B29C2035/0827 , B29K2033/04 , B29K2105/0002
Abstract: 本发明提供能将转印于树脂层的微细图案的形状稳定性的影响降低到最小限度，同时可抑制掩模内固化侵蚀的结构体的制造方法。本发明提供一种结构体的制造方法，具备如下工序：层叠体形成工序，形成在透明基材上具备树脂层的层叠体，所述树脂层由压印用光固化性树脂组合物构成，所述压印用光固化性树脂组合物含有光聚合性单体和相对于所述单体100质量份分别为0.1质量份以上的光引发剂及阻聚剂；被覆工序，将面积比所述树脂层小且具有微细图案的模具的所述微细图案按压于所述树脂层，并且以所述树脂层中被模具按压的区域的至少一部分成为露出区域的方式，用遮光掩模被覆所述层叠体；固化工序，对所述树脂层照射固化光，使所述树脂层中位于所述露出区域的部分固化；以及重复工序，使所述模具移动至所述树脂层的未固化部分，将所述被覆工序和所述固化工序重复进行1次以上。
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公开(公告)号：CN104937698B
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201480005890.3
申请日：2014-01-21
Applicant: 综研化学株式会社
Inventor： 宮泽幸大
IPC: H01L21/027 , B29C33/38 , B29C59/02
CPC classification number: B29C35/0888 , B29C35/0805 , B29C35/0894 , B29C59/02 , B29C59/022 , B29C59/026 , B29C2035/0827 , B29C2059/023 , B29K2995/0026 , G03F7/0002
Abstract: 本发明提供一种压印方法，其具备：曝光工序，在向涂布于大面积基材上的光固化性树脂按压透光型压印用模具的状态下，以使照射到通过为使透明基材的凹凸图案再现而设置的遮光部件(5)而固化的遮光区域的光固化性树脂的光量少于照射到位于遮光区域以外的透光区域的光固化性树脂的光量的方式向光固化性树脂照射固化光，由此使位于所述遮光区域的光固化性树脂(9b)半固化；脱离工序，在曝光工序后使模具从光固化性树脂脱离；移动工序，接下来，模具的透光区域的端部以位于半固化而成的光固化性树脂(9b)上的方式使模具移动；反复工序，在移动后的位置进行曝光工序和脱离工序。
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