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公开(公告)号:CN103429417A
公开(公告)日:2013-12-04
申请号:CN201280014141.8
申请日:2012-05-15
Applicant: 综研化学株式会社
IPC: B29C59/02 , B29C33/40 , H01L21/027
CPC classification number: B29C33/424 , B29C33/405 , B29K2883/00 , G03F7/0002 , Y10T428/24479
Abstract: 本发明的曲面用纳米压印用模具的特征是由250μm厚的Hs橡胶硬度在10~55的范围内的有机硅橡胶弹性体构成,且在表面形成有微细的凹凸。根据本发明的曲面用纳米压印用模具,即使对曲面也能形成纳米压印。