用于检测气体的传感器元件和方法

    公开(公告)号:CN104076063B

    公开(公告)日:2019-01-15

    申请号:CN201410122407.1

    申请日:2014-03-28

    Abstract: 本发明涉及一种用于定性地和/或定量地检测气体的传感器元件,其具有可暴露给有待测量的气体的前电极(18)、后电极(14)以及布置在前电极(18)与后电极(14)之间的电绝缘层(16),其中前电极(18)和后电极(14)为了定性地和/或定量地检测气体可与交流电压源电气接触,并且其中绝缘层(16)至少如此可局部地极化,从而使得绝缘层在极化状态下具有相对的介电常数,所述介电常数比在非极化状态下小一个系数,所述系数位于在大于或等于1.1的范围中。前述传感器元件(10)可通过有利的方式允许高敏感度地并且高选择性地在宽的温度范围中定性地和/或定量地检测气体。本发明还涉及一种传感器装置以及一种用于定性地和/或定量地检测气体的方法。

    电容结构和在使用电容结构的情况下确定电荷量的方法

    公开(公告)号:CN107923934A

    公开(公告)日:2018-04-17

    申请号:CN201680050933.9

    申请日:2016-08-29

    Abstract: 本发明涉及一种用于在使用电容结构(102)的情况下确定电荷量(Q)的方法,该电容结构具有电极装置(106)、电介质(108)和对应电极装置(110),该电介质具有与电压相关的介电常数。该方法具有调整的步骤、施加的步骤和检测的步骤。在调整的步骤中,调整在该电极装置(106)和该对应电极装置(110)之间的参考电位(118),以便调整参考电容(C1)。在施加的步骤中,除了该参考电位(118)以外,也施加通过该电荷量(Q)产生的电位(120),以便获得产生的电容(C2)。在检测的步骤中,检测在该参考电容(C1)和该产生的电容(C2)之间的电容改变(ΔC),以便确定该电荷量(Q)。

    用于测量气体混合物中的二氧化碳浓度的传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN107003263B

    公开(公告)日:2020-09-22

    申请号:CN201580069963.X

    申请日:2015-10-26

    Abstract: 本发明涉及一种用于测量气体混合物中的二氧化碳浓度的传感器。该传感器具有介电层(3),所述介电层被布置在层状第一电极(2)与层状第二电极(4)之间。第二电极(4)是复合电极,所述复合电极具有作为复合电极的第一材料的至少一种碳酸盐和/或磷酸盐以及作为复合电极的第二材料的至少一种金属。该传感器可以借助于如下方法来制造,该方法包括:将层状第一电极(2)施加到衬底上(1);将介电层(3)施加到第一电极(2)上;以及将层状第二电极(4)施加到介电层(3)上。在此情况下,第二电极(4)作为复合电极被施加,所述复合电极具有作为复合电极的第一材料的至少一种碳酸盐和/或磷酸盐,并且具有复合电极的至少一种第二材料,所述第二材料具有大于10‑2 S/m的电导率。

    宽带λ探测器以及宽带λ探测器的制造方法

    公开(公告)号:CN104777208A

    公开(公告)日:2015-07-15

    申请号:CN201510015533.1

    申请日:2015-01-13

    CPC classification number: G01N27/409 G01N27/41 G01N27/419 Y10T29/49002

    Abstract: 本发明涉及一种宽带λ探测器,所述宽带λ探测器具有氧气泵单元、能斯特浓缩单元以及至少一个容性传感器装置(32),氧气泵单元包括外部的泵电极(10)和内部的泵电极(12),借助于氧气泵单元将氧气从宽带λ探测器的测量空腔(14)转移到宽带λ探测器的外部环境中;能斯特浓缩单元包括能斯特电极(20)和参考电极(22);容性传感器装置的电容借助于存在于相应的容性传感器装置(32)上的至少一种物质的浓度变化是可变的,其中所述至少一个容性传感器装置(32)如此布置在宽带λ探测器中,从而使得所述至少一个容性传感器装置(32)直接邻接所述测量空腔(14)和/或至少部分地伸入到所述测量空腔(14)中。此外本发明涉及宽带λ探测器的制造方法。

    电容结构和在使用电容结构的情况下确定电荷量的方法

    公开(公告)号:CN107923934B

    公开(公告)日:2021-01-01

    申请号:CN201680050933.9

    申请日:2016-08-29

    Abstract: 本发明涉及一种用于在使用电容结构(102)的情况下确定电荷量(Q)的方法,该电容结构具有电极装置(106)、电介质(108)和对应电极装置(110),该电介质具有与电压相关的介电常数。该方法具有调整的步骤、施加的步骤和检测的步骤。在调整的步骤中,调整在该电极装置(106)和该对应电极装置(110)之间的参考电位(118),以便调整参考电容(C1)。在施加的步骤中,除了该参考电位(118)以外,也施加通过该电荷量(Q)产生的电位(120),以便获得产生的电容(C2)。在检测的步骤中,检测在该参考电容(C1)和该产生的电容(C2)之间的电容改变(ΔC),以便确定该电荷量(Q)。

    用于探测气体的、基于半导体的气体传感器组件和相应的制造方法

    公开(公告)号:CN107003278A

    公开(公告)日:2017-08-01

    申请号:CN201580069996.4

    申请日:2015-12-10

    CPC classification number: G01N27/4141

    Abstract: 本发明涉及一种用于探测气体的基于半导体的气体传感器组件(H1),该气体传感器组件具有气体敏感结构(S1),该气体敏感结构包括气体电极(E1)、电极(E2)和布置在所述气体电极和所述电极(E1、E2)之间的至少部分地能极化的电介质层(D1),其中,通过所述气体敏感结构(S1)所形成的电容与读取晶体管(A1)的栅极(G1)耦接,并且,所述读取晶体管(A1)被布置在基底(T1)中或者基底处。

    用于测量气体混合物中的二氧化碳浓度的传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN107003263A

    公开(公告)日:2017-08-01

    申请号:CN201580069963.X

    申请日:2015-10-26

    Abstract: 本发明涉及一种用于测量气体混合物中的二氧化碳浓度的传感器。该传感器具有介电层(3),所述介电层被布置在层状第一电极(2)与层状第二电极(4)之间。第二电极(4)是复合电极,所述复合电极具有作为复合电极的第一材料的至少一种碳酸盐和/或磷酸盐以及作为复合电极的第二材料的至少一种金属。该传感器可以借助于如下方法来制造,该方法包括:将层状第一电极(2)施加到衬底上(1);将介电层(3)施加到第一电极(2)上;以及将层状第二电极(4)施加到介电层(3)上。在此情况下,第二电极(4)作为复合电极被施加,所述复合电极具有作为复合电极的第一材料的至少一种碳酸盐和/或磷酸盐,并且具有复合电极的至少一种第二材料,所述第二材料具有大于10‑2 S/m的电导率。

    用于检测气体的传感器元件和方法

    公开(公告)号:CN104076063A

    公开(公告)日:2014-10-01

    申请号:CN201410122407.1

    申请日:2014-03-28

    CPC classification number: G01N33/0027 G01N27/227

    Abstract: 本发明涉及一种用于定性地和/或定量地检测气体的传感器元件,其具有可暴露给有待测量的气体的前电极(18)、后电极(14)以及布置在前电极(18)与后电极(14)之间的电绝缘层(16),其中前电极(18)和后电极(14)为了定性地和/或定量地检测气体可与交流电压源电气接触,并且其中绝缘层(16)至少如此可局部地极化,从而使得绝缘层在极化状态下具有相对的介电常数,所述介电常数比在非极化状态下小一个系数,所述系数位于在大于或等于1.1的范围中。前述传感器元件(10)可通过有利的方式允许高敏感度地并且高选择性地在宽的温度范围中定性地和/或定量地检测气体。本发明还涉及一种传感器装置以及一种用于定性地和/或定量地检测气体的方法。

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