检测气态分析物的气体传感器装置和制造该装置的方法

    公开(公告)号:CN107003277B

    公开(公告)日:2019-11-12

    申请号:CN201580065419.8

    申请日:2015-10-09

    Abstract: 本发明涉及用于制造用于检测至少一种气态分析物的气体传感器装置(100)的方法。所述方法(700)具有以下步骤:提供传感器基体(110),所述半导体基体具有半导体衬底(112)和被布置在所述半导体衬底(112)的第一主表面上的固体电解质层(116),至少一个腔区段(114)成形在所述半导体衬底中。在此所述固体电解质层(116)在所述至少一个腔区段(114)中未被所述半导体衬底(112)覆盖。所述方法还具有以下步骤:在所述传感器基体(110)的半导体衬底侧处生成以干化学方式沉积的信号传导层(120),使得在所述至少一个腔区段(114)中未被所述半导体衬底(112)覆盖的固体电解质层(116)的区域中,至少一个缺口区段在所述信号传导层(120)中成形,在所述缺口区段中移除了或者未沉积所述信号传导层(120);此外,所述方法具有下述步骤:将至少两个测量电极(130、140)借助于湿化学过程涂覆到所述固体电解质层(116)上,其中第一测量电极(130)布置在所述信号传导层(120)的所述至少一个缺口区段中,并且第二测量电极(140)布置在所述传感器基体(110)的固体电解质层侧上。

    生产结晶体单元的方法、传感器设备及相关设备和方法

    公开(公告)号:CN108732143A

    公开(公告)日:2018-11-02

    申请号:CN201810264163.9

    申请日:2018-03-28

    CPC classification number: G01R33/032 G01R33/1284 G01N21/64

    Abstract: 本发明涉及生产结晶体单元的方法、传感器设备及相关设备和方法。本发明涉及一种用于生产用于传感器设备的结晶体单元(1100)的方法。所述方法具有以下步骤:在至少部分地光学透明的载体衬底(1115)和具有至少一个空穴的至少一个结晶体(100)之间制造材料决定的连接。所述方法也具有处理所述载体衬底(1115)和/或所述至少一个结晶体(100)的步骤。在此,在处理的步骤中,将所述至少一个结晶体(100)和/或所述载体衬底(1115)划分成各个分段。

    传感器装置、用于校准传感器装置的方法和用于检测测量参量的方法

    公开(公告)号:CN109219756A

    公开(公告)日:2019-01-15

    申请号:CN201780035460.X

    申请日:2017-05-03

    Abstract: 本发明涉及一种传感器装置(800)。该传感器装置(800)具有:具有至少一个缺陷的晶体(810)。该传感器装置(800)还具有用于用激励光(210)照射晶体(810)的光源(820)。该传感器装置(800)还具有至少一个用于给晶体(810)加载微波的微波天线(830)。该传感器装置(800)还具有用于探测晶体(810)的荧光信号(220)的至少一个信号特性的探测装置(840、850、855)。该传感器装置(800)还具有施加装置(860、870、880),其被构造用于将用于产生微波的微波信号和用于生成内部磁场的磁场信号施加到至少一个微波天线(830)上,其中能够利用所述内部磁场加载晶体(810)。

    用于制造用于检测至少一种气态分析物的气体传感器装置的方法和用于检测至少一种气态分析物的气体传感器装置

    公开(公告)号:CN107003277A

    公开(公告)日:2017-08-01

    申请号:CN201580065419.8

    申请日:2015-10-09

    Abstract: 本发明涉及用于制造用于检测至少一种气态分析物的气体传感器装置(100)的方法。所述方法(700)具有以下步骤:提供传感器基体(110),所述半导体基体具有半导体衬底(112)和被布置在所述半导体衬底(112)的第一主表面上的固体电解质层(116),至少一个腔区段(114)成形在所述半导体衬底中。在此所述固体电解质层(116)在所述至少一个腔区段(114)中未被所述半导体衬底(112)覆盖。所述方法还具有以下步骤:在所述传感器基体(110)的半导体衬底侧处生成以干化学方式沉积的信号传导层(120),使得在所述至少一个腔区段(114)中未被所述半导体衬底(112)覆盖的固体电解质层(116)的区域中,至少一个缺口区段在所述信号传导层(120)中成形,在所述缺口区段中移除了或者未沉积所述信号传导层(120);此外,所述方法具有下述步骤:将至少两个测量电极(130、140)借助于湿化学过程涂覆到所述固体电解质层(116)上,其中第一测量电极(130)布置在所述信号传导层(120)的所述至少一个缺口区段中,并且第二测量电极(140)布置在所述传感器基体(110)的固体电解质层侧上。

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