公开(公告)号：CN101140219B

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN200710149084.5

申请日：2007-09-07

Applicant: 罗姆株式会社

Inventor： 小川义正 ,  金田和之 ,  壁田胜利

IPC: G01N21/17 ,  G01N33/48 ,  G01N21/03

CPC classification number: G01N35/00029 ,  B01L3/5027 ,  B01L9/527 ,  B01L2200/025 ,  B01L2200/027 ,  B01L2200/141 ,  B01L2300/0816 ,  B01L2400/0409 ,  G01N21/0303 ,  G01N21/07 ,  G01N21/5907 ,  G01N2035/00158

Abstract: 提供一种具有能够将微型芯片严密地定位并将附着的样品液容易地除去的芯片保持器的微型芯片检验装置。一种微型芯片检验装置，具有：芯片保持器，设置在测定台上，由盖部和箱部构成；微型芯片，收纳在芯片保持器中，具有光学测定部；光源，使光相对于微型芯片的光学测定部入射；检测器，接收透过光学测定部的光；和控制部，对该微型芯片检验装置进行控制，其特征在于，在芯片保持器的箱部中，设置在垂直于光学测定部的光轴的两方向上定位微型芯片的X基准面、Y基准面和Z基准面；在芯片保持器的盖部，设置将微型芯片紧贴到基准面上的X方向推压部、Y方向推压部和Z方向推压部；通过将芯片保持器的盖部关闭，而将微型芯片在芯片保持器内定位。