硅片超声波清洗装置及其制造方法、应用

    公开(公告)号:CN119056805A

    公开(公告)日:2024-12-03

    申请号:CN202411366553.9

    申请日:2024-09-29

    Abstract: 本发明揭示了一种硅片超声波清洗装置,包括清洗槽、机箱、动力组件、传动机构、托架、硅片夹具;清洗槽设置于机箱顶部,托架与清洗槽固定连接,以支撑硅片夹具悬设于清洗槽内;动力组件设置于机箱内部并通过传动机构与硅片夹具动力连接,以驱动硅片夹具旋动;还包括超声机构,以在清洗槽内产生超声波。本发明通过在清洗槽的清洗液内产生超声波,利用超声波的高频振动,产生超声空化现象,对硅片实施高效清洗,并通过驱动装载有硅片的硅片夹具旋动,以及仿真分析对超声换能器进行选型、对硅片夹具的设置区域进行优化,有助于进一步提高对硅片的清洗效果并缩短清洗时间。

    一种光储用一体无人机机库
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118723153A

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN202411101266.5

    申请日:2024-08-12

    Abstract: 本发明公开了一种光储用一体无人机机库,包括球形舱,球形舱内设置有停机台,停机台用于无人机停靠,球形舱上设置有旋转开闭的上舱门;风力监测机构,用于监测球形舱外界环境风速;储能机构,与光伏组件连接,用于电能的存储以及用于对机库以及无人机的供电;主控机构,设置在球形舱内,主控机构与风力监测机构连接,用于接收风速信号,主控机构与球形舱连接,用于控制上舱门的开闭,主控机构与储能机构连接,用于控制储能机构的充放电,主控机构通过无线电通讯机构与无人机进行信息交互,主控机构用于提前调整机库的运行状态。本发明能有效保护无人机免受恶劣天气和其他潜在危害的影响,并且有助于确保无人机的性能和寿命,适于野外部署使用。

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