公开(公告)号：CN103308095A

公开(公告)日：2013-09-18

申请号：CN201310082881.1

申请日：2013-03-15

Applicant: 英特尔移动通信有限责任公司

Inventor： H-J.巴特 ,  H.鲍迈斯特 ,  P.鲍姆加特纳 ,  P.里斯 ,  J.威勒达克吕格

IPC: G01D21/00 ,  G01N27/22 ,  H01L23/64

CPC classification number: G01L1/144 ,  G01L1/146 ,  G01L1/148 ,  G01N27/223 ,  H01L22/34 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 描述了一种可以能够可再生地测量极小电容及其变化的电容传感器和测量电路。该电容可以根据本地环境状况，比如机械应力（例如翘曲或剪应力）、机械压力、温度和/或湿度，而变化。可能所期望的是，提供集成到半导体芯片中的电容器，该电容器足够小且对精确测量预期半导体芯片所经历的状况敏感。

公开(公告)号：CN106024757A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201610340367.7

申请日：2013-03-15

Applicant: 英特尔移动通信有限责任公司

Inventor： H-J.巴特 ,  H.鲍迈斯特 ,  P.鲍姆加特纳 ,  P.里斯 ,  J.威勒达克吕格

IPC: H01L23/544 ,  G01L1/14

CPC classification number: H01L23/544 ,  H01L23/562 ,  H01L23/642 ,  H01L27/04 ,  H01L2224/16225 ,  H01L22/34 ,  G01L1/144 ,  G01L1/146 ,  G01L1/148 ,  G01N27/223 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 描述了一种可以能够可再生地测量极小电容及其变化的电容传感器和测量电路。该电容可以根据本地环境状况，比如机械应力（例如翘曲或剪应力）、机械压力、温度和/或湿度，而变化。可能所期望的是，提供集成到半导体芯片中的电容器，该电容器足够小且对精确测量预期半导体芯片所经历的状况敏感。

公开(公告)号：CN103308095B

公开(公告)日：2016-04-20

申请号：CN201310082881.1

申请日：2013-03-15

Applicant: 英特尔移动通信有限责任公司

Inventor： H-J.巴特 ,  H.鲍迈斯特 ,  P.鲍姆加特纳 ,  P.里斯 ,  J.威勒达克吕格

IPC: G01D21/00 ,  G01N27/22 ,  H01L23/64

CPC classification number: G01L1/144 ,  G01L1/146 ,  G01L1/148 ,  G01N27/223 ,  H01L22/34 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 描述了一种可以能够可再生地测量极小电容及其变化的电容传感器和测量电路。该电容可以根据本地环境状况，比如机械应力（例如翘曲或剪应力）、机械压力、温度和/或湿度，而变化。可能所期望的是，提供集成到半导体芯片中的电容器，该电容器足够小且对精确测量预期半导体芯片所经历的状况敏感。

公开(公告)号：CN106024757B

公开(公告)日：2019-08-13

申请号：CN201610340367.7

申请日：2013-03-15

Applicant: 英特尔移动通信有限责任公司

Inventor： H-J.巴特 ,  H.鲍迈斯特 ,  P.鲍姆加特纳 ,  P.里斯 ,  J.威勒达克吕格

IPC: H01L23/544 ,  G01L1/14

CPC classification number: H01L23/544 ,  H01L23/562 ,  H01L23/642 ,  H01L27/04 ,  H01L2224/16225

Abstract: 描述了一种可以能够可再生地测量极小电容及其变化的电容传感器和测量电路。该电容可以根据本地环境状况，比如机械应力（例如翘曲或剪应力）、机械压力、温度和/或湿度，而变化。可能所期望的是，提供集成到半导体芯片中的电容器，该电容器足够小且对精确测量预期半导体芯片所经历的状况敏感。