载体、半导体模块及其制备方法

    公开(公告)号:CN105280564B

    公开(公告)日:2018-11-06

    申请号:CN201510560920.3

    申请日:2015-07-16

    Inventor: A·施瓦茨

    Abstract: 本发明涉及载体、半导体模块及其制备方法。一种半导体模块,包括:包括第一载体表面和与该第一载体表面相对的第二载体表面的载体,安装在该第一载体表面之上的第一半导体芯片,以及利用面对该载体的第一热沉表面耦合至该第二载体表面的热沉,其中该第二载体表面或者第一热沉表面包括凹坑和沟槽中的一个或多个形式的至少一个空腔。

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