公开(公告)号：CN104138824A

公开(公告)日：2014-11-12

申请号：CN201410138551.4

申请日：2014-04-08

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： K·皮尔希 ,  H·利特纳 ,  M·卡林

IPC: B05C9/14 ,  B05C11/02 ,  B05C13/02

CPC classification number: B05B12/02 ,  B05B13/02 ,  B05C11/02 ,  B05D1/002 ,  B05D3/007 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/6835 ,  H01L2221/68327 ,  Y10T156/10

Abstract: 本发明的各个实施例涉及向衬底涂敷流体。用于向衬底涂敷流体的装置包括：衬底保持器；流体涂敷设备，被配置用于向所述衬底保持器上的衬底涂敷流体；加热机构，被配置用于对所述流体进行局部加热；以及控制器，被配置用于控制所述加热机构应用局部加热，以便获得所述衬底上的所述流体的希望的厚度分布。

公开(公告)号：CN104138824B

公开(公告)日：2017-05-17

申请号：CN201410138551.4

申请日：2014-04-08

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： K·皮尔希 ,  H·利特纳 ,  M·卡林

IPC: B05C9/14 ,  B05C11/02 ,  B05C13/02

CPC classification number: B05B12/02 ,  B05B13/02 ,  B05C11/02 ,  B05D1/002 ,  B05D3/007 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/6835 ,  H01L2221/68327 ,  Y10T156/10

Abstract: 本发明的各个实施例涉及向衬底涂敷流体。用于向衬底涂敷流体的装置包括：衬底保持器；流体涂敷设备，被配置用于向所述衬底保持器上的衬底涂敷流体；加热机构，被配置用于对所述流体进行局部加热；以及控制器，被配置用于控制所述加热机构应用局部加热，以便获得所述衬底上的所述流体的希望的厚度分布。