公开(公告)号：CN106328598B

公开(公告)日：2019-02-19

申请号：CN201610500334.4

申请日：2016-06-29

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： M·胡茨勒

IPC: H01L23/13 ,  H01L27/02

Abstract: 一种开关器件，包括设置在衬底中的开口。源极邻近开口地布置并且具有与开口的侧壁平行的接触表面。漏极邻近开口地布置并且具有与开口的侧壁平行的接触表面。可移动栅极堆叠包括沟道和栅极。可移动栅极堆叠设置在开口之内。

公开(公告)号：CN106328598A

公开(公告)日：2017-01-11

申请号：CN201610500334.4

申请日：2016-06-29

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： M·胡茨勒

IPC: H01L23/13 ,  H01L27/02

CPC classification number: H01L29/4236 ,  B81B3/001 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/018 ,  B81B2203/051 ,  H01L27/088 ,  H01L23/13 ,  H01L27/0218

Abstract: 一种开关器件，包括设置在衬底中的开口。源极邻近开口地布置并且具有与开口的侧壁平行的接触表面。漏极邻近开口地布置并且具有与开口的侧壁平行的接触表面。可移动栅极堆叠包括沟道和栅极。可移动栅极堆叠设置在开口之内。