公开(公告)号：TWI700547B

公开(公告)日：2020-08-01

申请号：TW107105689

申请日：2018-02-21

Applicant: 荷蘭商ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B.V.

Inventor： 泰爾 溫 提波 ,  TEL, WIM TJIBBO ,  席責斯 巴特 皮特 柏特 ,  SEGERS, BART PETER BERT ,  摩斯 艾佛哈德斯 柯奈利斯 ,  MOS, EVERHARDUS CORNELIS ,  舒密特-韋佛 艾密爾 彼得 ,  SCHMITT-WEAVER, EMIL PETER ,  張褘晨 ,  ZHANG, YICHEN ,  凡 瑞 彼得斯 傑拉杜斯 ,  VAN RHEE, PETRUS GERARDUS ,  柳 星蘭 ,  LIU, XING LAN ,  基利茲拉奇 瑪利亞 ,  KILITZIRAKI, MARIA ,  容布盧 雷納 瑪利亞 ,  JUNGBLUT, REINER MARIA ,  劉賢優 ,  YU, HYUNWOO

IPC: G03F1/42 ,  G03F7/20

公开(公告)号：TW201835676A

公开(公告)日：2018-10-01

申请号：TW107105689

申请日：2018-02-21

Applicant: 荷蘭商ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B.V.

Inventor： 泰爾 溫 提波 ,  TEL, WIM TJIBBO ,  席責斯 巴特 皮特 柏特 ,  SEGERS, BART PETER BERT ,  摩斯 艾佛哈德斯 柯奈利斯 ,  MOS, EVERHARDUS CORNELIS ,  舒密特-韋佛 艾密爾 彼得 ,  SCHMITT-WEAVER, EMIL PETER ,  張褘晨 ,  ZHANG, YICHEN ,  凡 瑞 彼得斯 傑拉杜斯 ,  VAN RHEE, PETRUS GERARDUS ,  柳 星蘭 ,  LIU, XING LAN ,  基利茲拉奇 瑪利亞 ,  KILITZIRAKI, MARIA ,  容布盧 雷納 瑪利亞 ,  JUNGBLUT, REINER MARIA ,  劉賢優 ,  YU, HYUNWOO

IPC: G03F1/42 ,  G03F7/20

Abstract: 本發明揭示一種方法，其涉及判定與在執行一器件製造程序時之一誤差或殘差相關聯的一第一參數之一第一分佈；判定與在執行該器件製造程序時之一誤差或殘差相關聯的一第二參數之一第二分佈；及使用作用於該第一分佈及該第二分佈之一函數來判定與該器件製造程序相關聯的一所關注參數之一分佈。該函數可包含一相關性。

Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示一种方法，其涉及判定与在运行一器件制造进程时之一误差或残差相关联的一第一参数之一第一分布；判定与在运行该器件制造进程时之一误差或残差相关联的一第二参数之一第二分布；及使用作用于该第一分布及该第二分布之一函数来判定与该器件制造进程相关联的一所关注参数之一分布。该函数可包含一相关性。