公开(公告)号：TW202031037A

公开(公告)日：2020-08-16

申请号：TW109112060

申请日：2018-09-14

Applicant: 荷蘭商ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B.V.

Inventor： 王勇新 ,  WANG, YONGXIN ,  賴瑞霖 ,  LAI, RUI-LING ,  董 仲華 ,  DONG, ZHONGHUA

IPC: H04N5/369

Abstract: 本發明揭示用於實施一偵測器陣列之系統及方法。根據某些實施例，一基板包含複數個感測元件，該複數個感測元件包括一第一元件及一第二元件以及在其間的經組態以連接該第一元件與該第二元件之一切換區。該切換區可基於回應於該等感測元件接收到具有一預定量的能量之電子而產生之信號受控制。

Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示用于实施一侦测器数组之系统及方法。根据某些实施例，一基板包含复数个传感组件，该复数个传感组件包括一第一组件及一第二组件以及在其间的经组态以连接该第一组件与该第二组件之一切换区。该切换区可基于回应于该等传感组件接收到具有一预定量的能量之电子而产生之信号受控制。

公开(公告)号：TW201841190A

公开(公告)日：2018-11-16

申请号：TW107104233

申请日：2018-02-07

Applicant: 漢民微測科技股份有限公司 ,  HERMES MICROVISION, INC. ,  荷蘭商ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B.V.

Inventor： 王勇新 ,  WANG, YONGXIN ,  任偉明 ,  REN, WEIMING ,  董 仲華 ,  DONG, ZHONGHUA ,  陳 仲瑋 ,  CHEN, ZHONGWEI

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01L21/66

Abstract: 本發明提供用於帶電粒子偵測之系統及方法。該偵測系統可包含一信號處理電路，該信號處理電路經組態以基於自複數個電子感測元件接收之電子強度資料而產生一組強度梯度。該偵測系統可進一步包含一射束點處理模組，該射束點處理模組經組態以：基於該組強度梯度而判定一射束點之至少一個邊界；及基於該至少一個邊界而判定該複數個電子感測元件中之一第一組電子感測元件在該射束點內。該射束點處理模組可經進一步組態以：基於自該第一組電子感測元件接收之該電子強度資料而判定該射束點之一強度值；及亦基於該強度值而產生一晶圓之一影像。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提供用于带电粒子侦测之系统及方法。该侦测系统可包含一信号处理电路，该信号处理电路经组态以基于自复数个电子传感组件接收之电子强度数据而产生一组强度梯度。该侦测系统可进一步包含一射束点处理模块，该射束点处理模块经组态以：基于该组强度梯度而判定一射束点之至少一个边界；及基于该至少一个边界而判定该复数个电子传感组件中之一第一组电子传感组件在该射束点内。该射束点处理模块可经进一步组态以：基于自该第一组电子传感组件接收之该电子强度数据而判定该射束点之一强度值；及亦基于该强度值而产生一晶圆之一影像。

公开(公告)号：TWI692251B

公开(公告)日：2020-04-21

申请号：TW107132382

申请日：2018-09-14

Applicant: 荷蘭商ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B.V.

Inventor： 王勇新 ,  WANG, YONGXIN ,  賴瑞霖 ,  LAI, RUI-LING ,  董 仲華 ,  DONG, ZHONGHUA

IPC: H04N5/369

公开(公告)号：TWI668724B

公开(公告)日：2019-08-11

申请号：TW107104233

申请日：2018-02-07

Applicant: 荷蘭商ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B.V.

Inventor： 王勇新 ,  WANG, YONGXIN ,  任偉明 ,  REN, WEIMING ,  董 仲華 ,  DONG, ZHONGHUA ,  陳 仲瑋 ,  CHEN, ZHONGWEI

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01L21/66

公开(公告)号：TW201921914A

公开(公告)日：2019-06-01

申请号：TW107132382

申请日：2018-09-14

Applicant: 荷蘭商ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B.V.

Inventor： 王勇新 ,  WANG, YONGXIN ,  賴瑞霖 ,  LAI, RUI-LING ,  董 仲華 ,  DONG, ZHONGHUA

IPC: H04N5/369

Abstract: 本發明揭示用於實施一偵測器陣列之系統及方法。根據某些實施例，一基板包含複數個感測元件，該複數個感測元件包括一第一元件及一第二元件以及在其間的經組態以連接該第一元件與該第二元件之一切換區。該切換區可基於回應於該等感測元件接收到具有一預定量的能量之電子而產生之信號受控制。

Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示用于实施一侦测器数组之系统及方法。根据某些实施例，一基板包含复数个传感组件，该复数个传感组件包括一第一组件及一第二组件以及在其间的经组态以连接该第一组件与该第二组件之一切换区。该切换区可基于回应于该等传感组件接收到具有一预定量的能量之电子而产生之信号受控制。

公开(公告)号：TW201920934A

公开(公告)日：2019-06-01

申请号：TW107132570

申请日：2018-09-17

Applicant: 荷蘭商ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B.V.

Inventor： 王勇新 ,  WANG, YONGXIN ,  董 仲華 ,  DONG, ZHONGHUA ,  賴瑞霖 ,  LAI, RUI-LING

IPC: G01N21/31 ,  G01N21/01

Abstract: 本發明揭示用於實施一偵測器陣列之系統及方法。根據某些實施例，一基板包含複數個感測元件，該複數個感測元件包括一第一元件及一第二元件。該偵測器包含經組態以連接該第一元件與該第二元件之一切換元件。該切換區可基於回應於該等感測元件接收到具有一預定量的能量之電子而產生之信號受控制。

Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示用于实施一侦测器数组之系统及方法。根据某些实施例，一基板包含复数个传感组件，该复数个传感组件包括一第一组件及一第二组件。该侦测器包含经组态以连接该第一组件与该第二组件之一切换组件。该切换区可基于回应于该等传感组件接收到具有一预定量的能量之电子而产生之信号受控制。