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公开(公告)号:TWM598960U
公开(公告)日:2020-07-21
申请号:TW108216229
申请日:2019-12-05
Applicant: 荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
Inventor: 波伊茲 湯瑪士 , POIESZ, THOMAS , 史古登 伯特 德克 , SCHOLTEN, BERT DIRK , 哈伯茲 德爾克 威廉 , HARBERTS, DIRK WILLEM , 史蒂文生 路卡斯 亨利克斯 喬漢斯 , STEVENS, LUCAS HENRICUS JOHANNES , 費爾南德斯 狄亞茲 蘿拉 瑪麗亞 , FERNANDEZ DIAZ, LAURA MARIA , 皮傑能保 裘漢斯 亞傑能斯 寇能利斯 瑪麗亞 , PIJNENBURG, JOHANNES ADRIANUS CORNELIS MARIA , 索薩德 雅伯罕 亞歷山卓 , SOETHOUDT, ABRAHAM ALEXANDER , 維爾特斯 威爾漢穆斯 賈庫伯斯 喬納斯 , WELTERS, WILHELMUS JACOBUS JOHANNES , 凡 迪 溫可 吉米 馬特斯 威哈幕斯 , VAN DE WINKEL, JIMMY MATHEUS WILHELMUS