Patent search ap:("荷蘭商ASML荷蘭公司" OR "ASML NETHERLANDS B.V.") AND inv:"RISPENS Page GIJSBERT"

1.

发明专利
基於缺陷機率的製程窗有权
Simplified title: 基于缺陷概率的制程窗

公开(公告)号：TWI694316B

公开(公告)日：2020-05-21

申请号：TW107146307

申请日：2018-12-21

Applicant: 荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.

Inventor： 史拉奇特亞伯拉罕 , SLACHTER, ABRAHAM , 亨奇史蒂芬 , HUNSCHE, STEFAN , 泰爾溫提波 , TEL, WIM TJIBBO , 凡巫斯登安東伯恩哈得 , VAN OOSTEN, ANTON BERNHARD , 范因根史齊橈柯恩拉德 , VAN INGEN SCHENAU, KOENRAAD , 瑞斯朋吉斯博特 , RISPENS, GIJSBERT , 彼得森布洛南 , PETERSON, BRENNAN

IPC: G03F7/20

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