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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107002264B
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201580066377.X
申请日：2015-12-11
Applicant: 西铁城时计株式会社
CPC classification number: C25D1/08 , C25D1/003 , C25D1/20 , C25D1/22 , G03F7/0035 , G03F7/094 , G03F7/095 , G03F7/40 , G04B13/02 , G04B15/14 , G04B17/066 , G04D3/0069 , H01L21/2885
Abstract: 在具有通过相互嵌合而密接的部分的第1电铸部件(40)以及第2电铸部件(60)的制造时，在形成第1电铸部件(40)后，将该第1电铸部件(40)作为电铸模的一部分来形成第2电铸部件(60)。另外，通过将第1电铸部件(40)作为电铸模的一部分来形成第2电铸部件(60)，将第1电铸部件(40)的形状转印到第2电铸部件(60)。由此能在一系列制造工序中一次性精度良好地制造形状不同的多个种类的部件。
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公开(公告)号：CN113322494B
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202110166411.8
申请日：2021-02-04
Applicant: 西铁城时计株式会社
Inventor： 佐佐木阳介
IPC: C25D1/00
Abstract: 在多层的电铸制品的制造方法中，提高层的界面中的电铸部分的形状的精度。一种通过将由金属镀敷形成电铸部分(40、80)在厚度方向上层叠而将两层的电铸部分(40、80)一体地形成的电铸制品的制造方法，其中，在先行形成的第一层的电铸部分(40)的、第二层的电铸部分(80)要层叠的一侧的表面(41)形成耐腐蚀性好的金属膜(50)；接着，在金属膜(50)之上形成电铸部分(80)用的抗蚀剂层(60)；接着，利用曝光和显影来去除抗蚀剂层(60)中的与所述电铸部分(80)相对应的部分(62)；在抗蚀剂层(60)的被去除的未曝光区域(62)形成电铸部分(80)。
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公开(公告)号：CN117098875A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202280024380.5
申请日：2022-03-23
Applicant: 西铁城时计株式会社
Inventor： 佐佐木阳介
IPC: C25D1/10
Abstract: 为了防止光致抗蚀剂层的图案中的角部的尖端变钝，光掩模(80)在层叠于基板(10)而形成的光致抗蚀剂层(20)上形成有由遮光部(82)和透光部(81)构成的图案，该遮光部(82)和透光部(81)形成通过由可溶部(22)和不溶部(21)构成的图案而形成的电铸模具，在遮光部(82)形成有角部(82a)时，在隔着遮光部(82)的角部(82a)的顶点(82b)与遮光部(82)的角部(82a)相对的区域形成了抑制遮光部(82)的角部(82a)的尖锐度下降的遮光部角修正部(84)。
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公开(公告)号：CN113322494A
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN202110166411.8
申请日：2021-02-04
Applicant: 西铁城时计株式会社
Inventor： 佐佐木阳介
IPC: C25D1/00
Abstract: 在多层的电铸制品的制造方法中，提高层的界面中的电铸部分的形状的精度。一种通过将由金属镀敷形成电铸部分(40、80)在厚度方向上层叠而将两层的电铸部分(40、80)一体地形成的电铸制品的制造方法，其中，在先行形成的第一层的电铸部分(40)的、第二层的电铸部分(80)要层叠的一侧的表面(41)形成耐腐蚀性好的金属膜(50)；接着，在金属膜(50)之上形成电铸部分(80)用的抗蚀剂层(60)；接着，利用曝光和显影来去除抗蚀剂层(60)中的与所述电铸部分(80)相对应的部分(62)；在抗蚀剂层(60)的被去除的未曝光区域(62)形成电铸部分(80)。
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公开(公告)号：CN107002264A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580066377.X
申请日：2015-12-11
Applicant: 西铁城时计株式会社
CPC classification number: C25D1/08 , C25D1/003 , C25D1/20 , C25D1/22 , G03F7/0035 , G03F7/094 , G03F7/095 , G03F7/40 , G04B13/02 , G04B15/14 , G04B17/066 , G04D3/0069 , H01L21/2885
Abstract: 在具有通过相互嵌合而密接的部分的第1电铸部件(40)以及第2电铸部件(60)的制造时，在形成第1电铸部件(40)后，将该第1电铸部件(40)作为电铸模的一部分来形成第2电铸部件(60)。另外，通过将第1电铸部件(40)作为电铸模的一部分来形成第2电铸部件(60)，将第1电铸部件(40)的形状转印到第2电铸部件(60)。由此能在一系列制造工序中一次性精度良好地制造形状不同的多个种类的部件。
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