-
公开(公告)号:CN1044011C
公开(公告)日:1999-07-07
申请号:CN93104012.4
申请日:1993-04-03
Applicant: 西铁城钟表株式会社
IPC: C23C14/32
Abstract: 一种离子镀膜装置,在真空容器钟罩11内,设置可将指定数量的蒸发材料15供给至规定位置处的送料器30、31,同时,至少送料器30、31的滑板部32、33构造成可退避至蒸发物质的蒸发路径之外,无须打开门18,即能可靠地将指定数量的蒸发材料15供给到钟罩11内规定的位置上,使送料器的滑板部32、33退避至蒸发物质的蒸发路径之外,从而防止蒸发物质被遮蔽,在被处理物上形成厚度与色调均匀的薄膜。
-
-
公开(公告)号:CN1077501A
公开(公告)日:1993-10-20
申请号:CN93104012.4
申请日:1993-04-03
Applicant: 西铁城钟表株式会社
IPC: C23C14/32
Abstract: 一种离子镀膜装置,在真空容器钟罩11内,设置可将指定数量的蒸发材料15供给至规定位置处的送料器30、31,同时,至少送料器30、31的滑板部32、33构造成可退避至蒸发物质的蒸发路径之外,无须打开门18,即能可靠地将指定数量的蒸发材料15供给到钟罩11内规定的位置上,使送料器的滑板部32、33退避至蒸发物质的蒸发路径之外,从而防止蒸发物质被遮蔽,在被处理物上形成厚度与色调均匀的薄膜。
-
-
-