离子镀膜装置
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1044011C

    公开(公告)日:1999-07-07

    申请号:CN93104012.4

    申请日:1993-04-03

    Abstract: 一种离子镀膜装置,在真空容器钟罩11内,设置可将指定数量的蒸发材料15供给至规定位置处的送料器30、31,同时,至少送料器30、31的滑板部32、33构造成可退避至蒸发物质的蒸发路径之外,无须打开门18,即能可靠地将指定数量的蒸发材料15供给到钟罩11内规定的位置上,使送料器的滑板部32、33退避至蒸发物质的蒸发路径之外,从而防止蒸发物质被遮蔽,在被处理物上形成厚度与色调均匀的薄膜。

    离子镀装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1077995A

    公开(公告)日:1993-11-03

    申请号:CN93104128.7

    申请日:1993-04-05

    Abstract: 一种电离镀装置,它被装配架60的环形链62、72带着转动的多个夹具61上分别安装被处理物16,一次能在多个被处理物16上形成薄膜。而且,由于该装配架60可旋转地安装于钟罩11内的固定台座67上,并使其在薄膜形成的最佳旋转位置上旋转,就能在被处理物16上形成均匀的薄膜。通过上述结构,维修时只要将该装配架60旋转而不必从钟罩中取出就能进行操作。

    离子镀膜装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1077501A

    公开(公告)日:1993-10-20

    申请号:CN93104012.4

    申请日:1993-04-03

    Abstract: 一种离子镀膜装置,在真空容器钟罩11内,设置可将指定数量的蒸发材料15供给至规定位置处的送料器30、31,同时,至少送料器30、31的滑板部32、33构造成可退避至蒸发物质的蒸发路径之外,无须打开门18,即能可靠地将指定数量的蒸发材料15供给到钟罩11内规定的位置上,使送料器的滑板部32、33退避至蒸发物质的蒸发路径之外,从而防止蒸发物质被遮蔽,在被处理物上形成厚度与色调均匀的薄膜。

    离子镀装置
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1043671C

    公开(公告)日:1999-06-16

    申请号:CN93104128.7

    申请日:1993-04-05

    Abstract: 一种离子镀装置,包括真空容器、蒸发源、电源及用于固定被处理物的装配架,其特征在于:上述装配架由用于固定上述被处理物的夹具、使该夹具转动的环形链、及通过支持部件共同载置所述链和所述夹具的台座构成,上述台座安装在固定于上述真空容器内的固定台座上,并可沿真空容器的内周面旋转。

Patent Agency Ranking