公开(公告)号：CN109328114B

公开(公告)日：2022-03-04

申请号：CN201780038365.5

申请日：2017-06-02

Applicant: 诺信公司

Inventor： 佩尔·奥拉-詹森 ,  帕特里克·T·霍干 ,  格雷戈里·L·哈特迈尔 ,  肯尼斯·S·埃斯本切德

IPC: B05C11/10 ,  G01F11/00 ,  H01L23/00 ,  B05C5/02

Abstract: 本文公开了用于将液体涂层涂敷到基板(12)的方法。一种示例性方法包括流动控制例程，其中迭代地调节涂敷器的速度或影响涂敷到基板的材料量的其它参数。跟踪在每次迭代中执行的调节量。当流动控制例程的调节的总和超过预定阈值时，开始扇形部宽度控制例程，其中调节由涂敷器涂敷的材料流的扇形部宽度。

公开(公告)号：CN109328114A

公开(公告)日：2019-02-12

申请号：CN201780038365.5

申请日：2017-06-02

Applicant: 诺信公司

Inventor： 佩尔·奥拉-詹森 ,  帕特里克·T·霍干 ,  格雷戈里·L·哈特迈尔 ,  肯尼斯·S·埃斯本切德

IPC: B05C11/10 ,  G01F11/00 ,  H01L23/00 ,  B05C5/02

CPC classification number: B05B1/30 ,  B05C5/022 ,  B05C11/1007 ,  B05C11/101 ,  B05C11/1013 ,  B05C11/1034 ,  G01F9/003 ,  G01F25/0046

Abstract: 本文公开了用于将液体涂层涂敷到基板(12)的方法。一种示例性方法包括流动控制例程，其中迭代地调节涂敷器的速度或影响涂敷到基板的材料量的其它参数。跟踪在每次迭代中执行的调节量。当流动控制例程的调节的总和超过预定阈值时，开始扇形部宽度控制例程，其中调节由涂敷器涂敷的材料流的扇形部宽度。