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公开(公告)号:JP2019083219A
公开(公告)日:2019-05-30
申请号:JP2019043035
申请日:2019-03-08
Applicant: 貞徳舎株式会社
IPC: H05B3/06
Abstract: 【課題】 絶縁体の熱容量を低減させると共に加熱空間に対する絶縁体の露出面積を減らして温度分布の均一化を図り昇降温のレスポンスを向上させる電気ヒーター及び電気ヒーターの製造方法並びに加熱装置を提供すること。 【解決手段】 スリットを形成することにより電流路を形成した板状の発熱体10と、この発熱体10を支持する絶縁体20とを備える。この発熱体10のうちスリットに沿う幅方向Xに位置する一対の幅方向端部13,13で絶縁体20に支持される。各幅方向端部13,13に位置する絶縁体20は、幅方向Xに沿った水平方向に対して少なくとも2分割される。2分割された各分割体21,22の間に幅方向端部13を係止し、幅方向端部13の上方の部分で各分割体21,22を締結する締結具30を設ける。 【選択図】 図1
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公开(公告)号:WO2007145234A1
公开(公告)日:2007-12-21
申请号:PCT/JP2007/061868
申请日:2007-06-13
Abstract: 高温雰囲気下でも反射性能を維持することができ、反射波長の特性も良好で、安価に製造することの可能な反射体及びその製造方法並びにこれを用いたヒーターユニット及び炉を提供すること。 鋼材又はセラミックス等の基材の一側に中間層を介して貴金属層をコーティングにより設ける。貴金属層により熱線を反射する。一側が高温雰囲気に面し、中間層3bがフリットにより構成される。中間層3bの厚さは高温雰囲気で貴金属層3cと基材3aとの熱膨張の差異を吸収すると共に貴金属層3cを維持しうる厚さである。
Abstract translation: 本发明提供即使在高温环境下也能够保持反射性能的反射体,具有优异的反射波长特性,能够以低成本制造。 还提供了制造这种反射器的方法,以及使用这种反射器的加热器单元和炉子。 诸如钢材或陶瓷的基材的一侧通过中间层涂覆有贵金属层。 热射线被贵金属层反射。 基材的一侧面向高温气氛,中间层(3b)由玻璃料构成。 中间层(3b)的厚度可以消除贵金属层(3c)与高温气氛中的基体材料(3a)的热膨胀之间的差异并维持贵金属层(3c)。
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公开(公告)号:JP2016164895A
公开(公告)日:2016-09-08
申请号:JP2016118541
申请日:2016-06-15
Applicant: 貞徳舎株式会社
IPC: H05B3/06
Abstract: 【課題】 絶縁体の熱容量を低減させると共に加熱空間に対する絶縁体の露出面積を減らして温度分布の均一化を図り昇降温のレスポンスを向上させる電気ヒーター及び電気ヒーターの製造方法並びに加熱装置を提供すること。 【解決手段】 スリットを形成することにより電流路を形成した板状の発熱体10と、この発熱体10を支持する絶縁体20とを備える。この発熱体10のうちスリットに沿う幅方向Xに位置する一対の幅方向端部13,13で絶縁体20に支持される。各幅方向端部13,13に位置する絶縁体20は、幅方向Xに沿った水平方向に対して少なくとも2分割される。2分割された各分割体21,22の間に幅方向端部13を係止し、幅方向端部13の上方の部分で各分割体21,22を締結する締結具30を設ける。 【選択図】 図1
Abstract translation: 要解决的问题:提供一种能够降低绝缘体的热容量并且通过将绝缘体的暴露面积减小到加热空间来均衡温度分布的电加热器,以改善温度升高和降低的响应,并且提供一种制造 电加热器和加热装置。电加热器包括:板状加热元件10,其中通过形成狭缝形成电流通路; 以及用于支撑加热元件10的绝缘体20.加热元件10在沿着加热元件10的狭缝位于宽度方向X上的一对宽度方向端部13和13处由绝缘体20支撑。每个绝缘体20位于 宽度方向端部13,13的宽度方向端部13,13沿宽度方向X向水平方向分成至少两部分。宽度方向端部13分别锁定在分割元件21,22之间,紧固工具30用于固定 在宽度方向端部13的上方的部分分别设置分割元件21,22
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公开(公告)号:JP2015233022A
公开(公告)日:2015-12-24
申请号:JP2015196660
申请日:2015-10-02
Applicant: 貞徳舎株式会社
IPC: H05B3/06
Abstract: 【課題】 絶縁体の熱容量を低減させると共に加熱空間に対する絶縁体の露出面積を減らして温度分布の均一化を図り昇降温のレスポンスを向上させる電気ヒーター及び電気ヒーターの製造方法並びに加熱装置を提供すること。 【解決手段】 スリットを形成することにより電流路を形成した板状の発熱体10と、この発熱体10を支持する絶縁体20とを備える。この発熱体10のうちスリットに沿う幅方向Xに位置する一対の幅方向端部13,13で絶縁体20に支持される。各幅方向端部13,13に位置する絶縁体20は、幅方向Xに沿った水平方向に対して少なくとも2分割される。2分割された各分割体21,22の間に幅方向端部13を係止し、幅方向端部13の上方の部分で各分割体21,22を締結する締結具30を設ける。 【選択図】 図1
Abstract translation: 要解决的问题:提供一种能够降低绝缘体的热容量并且通过将绝缘体的暴露面积减小到加热空间来均衡温度分布的电加热器,以提高温度升高和降低的响应,并提供制造方法 电加热器和加热装置。电加热器包括:板状加热元件10,其中通过形成狭缝形成电流通路; 以及用于支撑加热元件10的绝缘体20.加热元件10由沿着加热元件10的狭缝位于宽度方向X上的一对宽度方向端部13和13处由绝缘体20支撑。每个绝缘体20 位于宽度方向端部13和13中的每一个的宽度方向端部13沿宽度方向X分成至少两个水平方向。宽度方向端部13分别锁定在通过分隔绝缘体20而获得的分割元件21和22之间 分别设置有用于将分割的元件21和22紧固在宽度方向端部13上方的部分的紧固工具30。
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公开(公告)号:JP2018139221A
公开(公告)日:2018-09-06
申请号:JP2018091414
申请日:2018-05-10
Applicant: 貞徳舎株式会社
Inventor: 北村 公男 , 田中 健司 , ハサン マスドウル モハマド , 西原 淳一
CPC classification number: H01L21/67103 , H05B3/143 , H05B3/265 , H05B3/84 , H05B2203/003 , H05B2203/013
Abstract: 【課題】 発熱体の短絡を防止し且つ加熱効率の良い電気ヒーター並びにこれを備えた加熱装置及び半導体製造装置を提供すること。 【解決手段】 スリット14を形成することにより電流路を形成した板状の発熱体10と、この発熱体10を支持する板状の絶縁体20とを備える。発熱体10を絶縁体20上に支持する。この絶縁体20上にスリット14内に位置して発熱体10の電流路の短絡を防ぐピン23a,23bを突出させる。複数の絶縁棒30を設けてこの絶縁棒30と絶縁体20とで発熱体10を挟持する。 【選択図】 図3
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公开(公告)号:JP2017147245A
公开(公告)日:2017-08-24
申请号:JP2017111425
申请日:2017-06-06
Applicant: 貞徳舎株式会社
IPC: H05B3/06
Abstract: 【課題】 絶縁体の熱容量を低減させると共に加熱空間に対する絶縁体の露出面積を減らして温度分布の均一化を図り昇降温のレスポンスを向上させる電気ヒーター及び電気ヒーターの製造方法並びに加熱装置を提供すること。 【解決手段】 スリットを形成することにより電流路を形成した板状の発熱体10と、この発熱体10を支持する絶縁体20とを備える。この発熱体10のうちスリットに沿う幅方向Xに位置する一対の幅方向端部13,13で絶縁体20に支持される。各幅方向端部13,13に位置する絶縁体20は、幅方向Xに沿った水平方向に対して少なくとも2分割される。2分割された各分割体21,22の間に幅方向端部13を係止し、幅方向端部13の上方の部分で各分割体21,22を締結する締結具30を設ける。 【選択図】 図1
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