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公开(公告)号：CN104729995B
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201510175317.3
申请日：2015-04-15
Applicant: 重庆大学
IPC: G01N21/01
Abstract: 本发明涉及一种光谱探测设备，更具体的说，本发明涉及一种基于可编程微镜阵列菲涅尔波带片的微型光谱仪：光源1出射的光经过准直透镜2和样品池3入射到微镜阵列4，微镜阵列显示嵌入式系统5编程生成的菲涅尔波带片的图像，光被微镜阵列上生成的波带片色散并聚焦，通过光阑6到达单点探测器7完成光谱的探测。由于嵌入式系统可以按照编好的程序，动态调节微镜阵列上生成的菲涅尔波带片参数，使得不同波长的光分时聚焦通过光阑进入单点探测器。本发明具有结构简单紧凑、集成容易、体积小、易调节、成本低等特点，可广泛应用于农业、食品、医疗、制药、石化、环境、宇航等领域。
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公开(公告)号：CN103901610B
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201410116482.7
申请日：2014-03-26
Applicant: 重庆大学
Abstract: 本发明涉及MEMS光调制器技术领域，具体涉及一种MEMS闪耀光栅光调制器和阵列:所述百叶窗式MEMS大转角可调闪耀光栅光调制器，包括硅衬底以及设置于硅衬底上的绝缘层、可动框架、柔性梁、光栅镜面、双层梳齿驱动结构、弹性悬臂梁、偏压施加装置及多个柱子；所述光栅镜面一侧通过支撑梁和2个柱子固定在衬底表面,另一侧通过变形梁与可动框架连接，由双层梳齿驱动结构驱动；所述偏压施加装置，可产生不同电平、不同频率的驱动电压施加在动齿与定齿之间，使动齿发生偏转和移动，带动可动框架，可动框架通过变形梁拉动光栅镜面，产生偏转。本结构使MEMS闪耀光栅具有转动角度大、连续模拟可调、可控能力好、衍射效率高、调谐频率高、防止粘附失效的优点。
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公开(公告)号：CN103955056B
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201410116373.5
申请日：2014-03-26
Applicant: 重庆大学
Abstract: 本发明涉及光调制器技术领域，具体涉及一种光栅光调制器及其制造方法和阵列:SMA驱动的双稳态反射镜平动式光栅光调制器包括基底和其上的绝缘层；位于绝缘层之上由支撑梁支撑具有反射面的可动平板，由施加到支撑梁或的偏压驱动做垂直上下移动；支撑梁由梁体和支撑柱组成，梁体的中部与可动平板连接，梁体的材料为形状记忆合金SMA；一个固定光栅，罩于上述部件组成的结构单元之上。本发明利用形状记忆合金在加电升温后材料可以变形到预设的形状，形成双稳态特性，达到减低光栅非稳态位置驻留引起的位置漂移和防止粘附失效发生的目的，同时具有驱动电压低，可以和常规数字芯片驱动电路兼容、大行程、驱动力大的优点。
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公开(公告)号：CN104777539A
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201510175464.0
申请日：2015-04-15
Applicant: 重庆大学
CPC classification number: G02B5/1876 , G02B26/0808 , G02B26/0858
Abstract: 本发明涉及MOEMS光调制器技术领域，更具体的说，本发明涉及一种MOEMS微镜阵列可编程菲涅尔波带片:利用MOEMS微镜对光的振幅调制能力和阵列调制器对光场的二维空间调制能力，通过编程控制MEOMS微镜阵列中特定分组单元的开关,生成参数可调的反射式菲涅尔波带片，完成调焦功能，形成的微镜阵列可编程菲涅尔波带片作为变焦距光学系统使用具有结构简单、体积小、重复性好、精度高、工作频带宽、布线和驱动简单、光学效果好、光学误差小的优点，可广泛应用于显微镜、数码相机、望远镜等精密光学成像设备。
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公开(公告)号：CN104765145A
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201510176218.7
申请日：2015-04-15
Applicant: 重庆大学
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明涉及光学领域，更具体的说，本发明涉及一种基于微镜阵列实现变焦反射镜的方法:利用MEMS微镜对光的振幅调制能力和阵列调制器对光场的二维空间调制能力，通过编程控制MEMS微镜阵列中每一单元的开关,生成参数可调的反射式菲涅尔波带片，完成调焦功能，形成的变焦距光学系统变焦快捷灵活、结构简单、体积小、重复性好、精度高、工作频带宽的优点，可广泛应用于显微镜、数码相机、望远镜等精密光学成像设备。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103885178A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201410119728.6
申请日：2014-03-26
Applicant: 重庆大学
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明涉及光调制器技术领域，具体涉及一种光栅光调制器及其制造方法和阵列:MOEMS双稳态光栅平动式光调制器包括硅衬底1以及其上的绝缘层2,光栅6通过弹性支撑梁悬空支撑于绝缘层2上方，支撑梁由梁体5和支撑柱4组成，梁体的中部与光栅连接，梁体为由不同热膨胀系数材料组成的双层复合梁，在光栅在正下方设置有下反射表面3；外接的电流驱动装置7，可产生不同幅度、频率的电流。本发明利用一种具有双稳态特性支撑梁的可动光栅在电热驱动下可以切换双稳态位置，避免光栅在非稳态位置驻留易受电源波动干扰而引起位置漂移降低衍射效率的问题发生，同时达到防止粘附失效发生的目的，并具有驱动电路稳定性要求低、实现容易、功耗低的优点。
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公开(公告)号：CN103901609B
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201410116359.5
申请日：2014-03-26
Applicant: 重庆大学
Abstract: 本发明涉及MEMS光调制器技术领域，具体涉及一种MEMS闪耀光栅光调制器和阵列:所述MEMS大转角可动闪耀光栅光调制器，采用双层梳齿驱动，并将双层梳齿驱动位置布置在光栅镜面两端的柔性支撑梁上。使用多个可动闪耀光栅光调制器构成阵列时，每一个双层梳齿驱动的MEMS大转角可动闪耀光栅光调制器均可在驱动电路控制下独立动作，而且每个光栅镜面间的间隙很小。本结构使光栅可以向两侧发生大角度偏转，具有偏转角大、衍射效率高、调谐频率高、防粘附的优点。这种光栅光调制器及其阵列，可应用于光谱仪、光通信、精密测量、激光整形、显示等领域。
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公开(公告)号：CN103063298A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210504639.4
申请日：2012-11-30
Applicant: 重庆大学
IPC: G01J3/02
Abstract: 本发明公开了一种对微镜阵列光谱仪进行互补S矩阵编码调制的方法，包括以下步骤：1）互补S矩阵的构造及其原理；2）互补S矩阵的噪声改善作用分析；3）互补S矩阵的实现过程。本发明设计的互补S矩阵为编码模板，结合了H矩阵与S矩阵的优点，系统构型简单，易于实现，且可以削减系统的杂散光和暗电流噪声，实现了理论与实用的双优结合。并且此编码方法具有广泛的适用性，可以应用于已经研制好的各类微镜阵列光谱仪。
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公开(公告)号：CN102944307A
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：CN201210534435.5
申请日：2012-12-12
Applicant: 重庆大学
Abstract: 一种可变分辨率微镜阵列复用型光谱仪，包括光源、准直透镜、微镜阵列、分光成像系统和单点探测器；通过对微镜阵列进行区域划分，软件数控微镜阵元的开关，使得微镜阵列分别完成光谱仪器的入射狭缝控制与光谱调制功能；光源出射的光经准直透镜后到达微镜阵列构造狭缝区Ⅰ，选通的光经固定闪耀光栅分光后由第一成像透镜将色散光速成像到微镜阵列编码调制区Ⅱ，最后经第二成像透镜成像到单点探测器完成光谱的探测；通过软件数控微镜阵列两个区域，实现构造入射狭缝和光谱调制功能，使得光谱仪光学分辨率与象元分辨率均可通过软件编程调节，具有高精度、高可靠性、易于调节、结构紧凑、集成化高，微型化等特点。
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公开(公告)号：CN103885178B
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201410119728.6
申请日：2014-03-26
Applicant: 重庆大学
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明涉及光调制器技术领域，具体涉及一种光栅光调制器及其制造方法和阵列:MOEMS双稳态光栅平动式光调制器包括硅衬底1以及其上的绝缘层2,光栅6通过弹性支撑梁悬空支撑于绝缘层2上方，支撑梁由梁体5和支撑柱4组成，梁体的中部与光栅连接，梁体为由不同热膨胀系数材料组成的双层复合梁，在光栅在正下方设置有下反射表面3；外接的电流驱动装置7，可产生不同幅度、频率的电流。本发明利用一种具有双稳态特性支撑梁的可动光栅在电热驱动下可以切换双稳态位置，避免光栅在非稳态位置驻留易受电源波动干扰而引起位置漂移降低衍射效率的问题发生，同时达到防止粘附失效发生的目的，并具有驱动电路稳定性要求低、实现容易、功耗低的优点。
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