一种管状钼靶材的制备方法

    公开(公告)号:CN103978345B

    公开(公告)日:2016-11-16

    申请号:CN201410210033.9

    申请日:2014-05-17

    Abstract: 本发明提供了一种管状钼靶材的制备方法,包括以下步骤:一、将钼粉压制成钼管坯;二、采用两段烧结工艺,对钼管坯进行烧结处理;三、将烧结处理后的钼管坯进行加热,然后进行挤压加工,车削加工后得到管状钼靶材。本发明制备方法少切屑,生产效率高,钼管长度可调,并且具有明显的成本优势;本发明生产工艺流程短,金属损耗小,综合成品率高,能够方便、快捷、大量地生产溅射用管状靶材。

    一种钼粉的制备方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101966592A

    公开(公告)日:2011-02-09

    申请号:CN201010532699.8

    申请日:2010-11-01

    Inventor: 王林 朱琦 杨秦莉

    Abstract: 一种钼粉的制备方法,涉及一种钼粉,特别是高纯钼粉的制备方法。其特征在于制备过程采用高纯钼酸铵或高纯氧化钼作为原材料,在还原炉管内衬以钼合金管或采用石英炉管,利用钼合金舟皿为还原料舟,以高纯氢气为还原气体,进行纯钼酸铵或者氧化钼的还原,制备出钼粉。本发明的方法有效避免了还原炉炉管及还原用舟皿中碳、铁、镍、铬、钴等杂质向钼粉中的扩散,避免了钼粉在还原过程中的二次污染;针对性的去除了原料中的K、Fe、Ni、Cr、Co、Ca等杂质,显著提高了钼粉的纯度。制备出的高纯钼粉可用于生产高档钼电极、钼靶材等产品。

    一种制备钼靶的方法
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103132033B

    公开(公告)日:2016-03-16

    申请号:CN201310098029.3

    申请日:2013-03-26

    Abstract: 本发明公开了一种制备钼靶的方法,该方法为:一、将钼粉压制成钼坯料,置于高温炉内进行预烧结得到预烧结坯;二、将预烧结坯置于高温炉内进行烧结,得到高纯钼金属坯;三、将高纯钼金属坯送入马弗炉中加热,然后对加热后的高纯钼金属坯进行压力加工,得到钼板;四、将钼板加热,冷却后进行机械加工;五、将经机械加工后的钼板清洗干净,与金属背板绑定,得到钼靶。本发明采用在低压力下进行预烧结,能够降低杂质熔点,创造杂质挥发条件,有利于去除材料中的气体元素和低熔点杂质,尤其是降低了材料中的C、O、Si、Cr、Ca、K、Mg、Ti、Ni等杂质元素含量,显著提高了制成品的纯度,保证了钼溅射靶材的纯度和产品质量。

    一种钠掺杂钼平面靶材的制备方法

    公开(公告)号:CN105112859A

    公开(公告)日:2015-12-02

    申请号:CN201510594613.7

    申请日:2015-09-17

    Abstract: 本发明公开了一种钠掺杂钼平面靶材的制备方法,该方法为:一、将钼粉和二水合钼酸钠的混合粉末与去离子水搅拌均匀,喷雾干燥处理后得到钠掺杂钼颗粒;二、将钠掺杂钼颗粒装入冷等静压模具后密封,然后进行冷等静压压制,压制后去除冷等静压模具,得到板坯;三、对板坯进行包套处理,然后抽真空密封;四、将板坯热压烧结,然后进行去包套处理,得到钠掺杂钼平面靶材。本发明制备成本低、材料利用率高且靶材中Na含量和组织可控、产品一致性好,能够较好的满足工业化生产用钠掺杂钼平面靶材的需求。

    一种钼钠合金材料的制备方法

    公开(公告)号:CN103898345A

    公开(公告)日:2014-07-02

    申请号:CN201410178165.8

    申请日:2014-04-29

    Abstract: 本发明提供了一种钼钠合金材料的制备方法,包括以下步骤:一、制备造粒钼粉;二、将造粒钼粉进行压制成坯,然后进行烧结处理,得到钼骨架;三、将钼酸钠坯铺设于钼骨架顶部,然后进行熔渗处理,得到半成品材料;四、进行均匀化处理,得到钼钠合金材料。与传统的热等静压制备工艺相比,本发明制备工艺更加易于控制,对设备要求低,制备周期短,所制备的钼钠合金材料的组织和性能稳定,致密性良好,可实现批量化稳定生产,具有广泛的应用前景。

    一种制备高纯度钼电极的方法

    公开(公告)号:CN102266943A

    公开(公告)日:2011-12-07

    申请号:CN201110185812.4

    申请日:2011-07-05

    Inventor: 朱琦 王林 杨秦莉

    Abstract: 本发明公开了一种制备高纯度钼电极的方法,该方法为:先将粒度为2.5μm~4.0μm,氧质量含量为400ppm~600ppm的钼粉压制成钼坯料,将钼坯料置于电阻烧结炉中进行预烧结;然后将经预烧结后的钼坯料置于中频感应炉中进行烧结,得到质量纯度达99.99%以上的钼电极。本发明采用两段烧结方法,首先在低温段(1350℃以下),进行长时间的预烧结,不仅利于除气脱氧,大大降低了钼电极中的气体含量,也有利于低熔点杂质的排除,然后采用氢气中频感应烧结炉进一步降低粉末冶金生产钼电极的气体含量和杂质含量,制备的钼电极碳和氧的质量含量均低于10ppm,完全满足玻纤行业用高纯度钼电极的质量要求。

    一种制备高纯材料的粉末冶金方法

    公开(公告)号:CN102069189A

    公开(公告)日:2011-05-25

    申请号:CN201010604451.8

    申请日:2010-12-24

    Inventor: 王林 朱琦 杨秦莉

    Abstract: 一种制备高纯材料的粉末冶金方法,涉及一种用于电子、太阳能行业的高纯金属或高纯陶瓷的溅射靶材料的制备方法。其特征在于其制备过程中以纯度不低于99.9%的金属粉末或陶瓷粉末为原料,其步骤包括:(1)将粉体进行成形;(2)将成形后的坯料进行预烧结;(3)将预烧结后的坯料进行最终烧结,获得高纯度、致密的材料。采用本发明的方法,在低的气氛压力下进行预烧结时,降低杂质熔点,创造了杂质的挥发条件,去除了材料中的低熔点杂质。尤其是降低了材料中的C、O、Si、Cr、Ca、K、Mg、Ti、Ni等杂质元素含量,显著提高了制成品的纯度,保证溅射靶材的产品质量。

    一种钼酸钠掺杂钼粉的制备方法

    公开(公告)号:CN104117685B

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201410369881.4

    申请日:2014-07-30

    Abstract: 本发明提供了一种钼酸钠掺杂钼粉的制备方法,包括以下步骤:一、将聚丙烯酰胺加入去离子水中充分搅拌,直至聚丙烯酰胺完全溶解,得到粘结剂;二、将钼粉和钼酸钠粉加入粘结剂中混合均匀,得到浆料;三、利用喷雾干燥塔对步浆料进行喷雾干燥处理,得到粒料;四、在氢气气氛的保护下,将粒料进行脱碳处理,自然冷却后得到钼酸钠掺杂钼粉。本发明采用加入量少、相溶性好、低温易排除又能符合造粒要求的聚丙烯酰胺配制成粘接剂,对生产原料要求低,工艺易于控制,操作简便、安全,适于大规模生产。采用本发明制备的钼酸钠掺杂钼粉,产品球化率高,有机物易于脱除,碳含量低,产品一致性好,完全可以满足特殊成形方式对粉末的要求。

    一种钼钠合金材料的制备方法

    公开(公告)号:CN103898345B

    公开(公告)日:2016-04-06

    申请号:CN201410178165.8

    申请日:2014-04-29

    Abstract: 本发明提供了一种钼钠合金材料的制备方法,包括以下步骤:一、制备造粒钼粉;二、将造粒钼粉进行压制成坯,然后进行烧结处理,得到钼骨架;三、将钼酸钠坯铺设于钼骨架顶部,然后进行熔渗处理,得到半成品材料;四、进行均匀化处理,得到钼钠合金材料。与传统的热等静压制备工艺相比,本发明制备工艺更加易于控制,对设备要求低,制备周期短,所制备的钼钠合金材料的组织和性能稳定,致密性良好,可实现批量化稳定生产,具有广泛的应用前景。

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