公开(公告)号：CN1647181A

公开(公告)日：2005-07-27

申请号：CN03808580.1

申请日：2003-04-15

Applicant: 长濑产业株式会社

Inventor： 小川修 ,  山中祥次郎 ,  越野定文 ,  三宅公二 ,  佐野一彦

IPC: G11B7/26 ,  G03F7/26 ,  G03F7/004

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0017 ,  G11B7/261 ,  G11B7/263

Abstract: 本发明的目的在于，可在制造光盘母盘时省去需要长时间且容易产生不良的Ni电铸工序，另外，可形成精度高的细微凹凸图形的光盘母盘原盘等。本发明光盘母盘原盘11是顺序地层积基盘1、半交联抗蚀剂层2及预焙抗蚀剂层3的装置。预焙抗蚀剂层3由甲氧基甲基化蜜胺构成，可容易地通过曝光、显影形成突起部(图1C)。