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公开(公告)号：CN1278391C
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：CN03145360.0
申请日：2003-07-08
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: H01L21/304 , F26B21/00 , F26B15/00 , G02F1/133
Abstract: 本发明涉及一种通过向由输送辊向基本呈水平方向输送的基板喷射压缩空气，将处理液除去的干燥装置，包括：具有将在表面(Wa、Wb)上具有液膜或液滴状的处理液(50)的基板(W)向一个方向输送的输送路径(R)的输送装置；配置在这个输送路径的近旁为了使处理液(50)向输送方向的上游侧移动，向基板(W)的表面(Wa、Wb)送出干燥用气体的送风装置(10)；接触或靠近输送路径(R)中的送风装置(10)的上游侧的路侧(r1)而设置的，回收基板表面(Wa、Wb)上的处理液(50)的受液装置(11)。由此，可在处理液不被吹起的状态下除去处理液。
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公开(公告)号：CN1495862A
公开(公告)日：2004-05-12
申请号：CN03145360.0
申请日：2003-07-08
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: H01L21/304 , F26B21/00 , F26B15/00 , G02F1/133
Abstract: 本发明涉及一种通过向由输送辊向基本呈水平方向输送的基板喷射压缩空气，将处理液除去的干燥装置，包括：具有将在表面(Wa、Wb)上具有液膜或液滴状的处理液(50)的基板(W)向一个方向输送的输送路径(R)的输送装置；配置在这个输送路径的近旁为了使处理液(50)向输送方向的上游侧移动，向基板(W)的表面(Wa、Wb)送出干燥用气体的送风装置(10)；接触或靠近输送路径(R)中的送风装置(10)的上游侧的路侧(r1)而设置的，回收基板表面(Wa、Wb)上的处理液(50)的受液装置(11)。由此，可在处理液不被吹起的状态下除去处理液。
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公开(公告)号：CN1517157A
公开(公告)日：2004-08-04
申请号：CN200410001556.9
申请日：2004-01-13
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
Abstract: 一种蒸汽处理装置，具有由向被处理物(A)喷射用于蒸汽处理的蒸汽(G1)的蒸汽喷嘴(2)、设在蒸汽喷嘴(2)附近并将供给蒸汽处理后的蒸汽(G2)的至少一部分排出到蒸汽处理系统外的排气机构(5)、冷却蒸汽处理后的蒸汽(G2)的冷却机构(6)所组成的蒸汽处理部(10)，在被处理物(A)的表面和蒸汽处理部(10)之间的间隙中形成有可以让被冷却机构(6)冷却而凝结的蒸汽的冷凝液(L2)通过的流路(15)。这种蒸汽处理装置，能够防止从被处理物除去的除去物再次附着在被处理物上、而且能够减小排气量和降低成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1129144C
公开(公告)日：2003-11-26
申请号：CN97104260.8
申请日：1997-05-14
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
Inventor： 伊藤卓雄
Abstract: 片式电子部件制造工序既要简单又要能批量生产，而且仅与端面的电极层相压接即可获得充分地导通。在基板上形成多个平行长条形通孔，在长条形通孔内形成电极层3，在基板的表面上和电极层3的表面部上，形成由连续电子元件组成的电子元件层之后，经切断基板两分割成单个的片式电子部件1，从而在基体2的表面上形成电子元件层4，而电子元件层4的端部，在基体2的两侧所形成的电极层3的表面部3a上，再同电极层3进行电的连接，结果即可获得片式电子部件1。
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公开(公告)号：CN1796953A
公开(公告)日：2006-07-05
申请号：CN200510134138.1
申请日：2005-12-27
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
CPC classification number: G06K9/0002 , G01L1/146 , G06F3/0414 , G06F3/044
Abstract: 本发明提供一种能够容易地去除从人体传播的噪声的压敏型的电容传感器。其是具有传感器部和检测部的压敏型的电容传感器，所述传感器部将形成了多条列配线(22)的第一基板(20)和构成了多条行配线(32)的第二基板(30)设定间隙而相对地设置，成为由上述列配线(22)和行配线(32)构成的矩阵状，根据从外部施加的压力，上述列配线与上述行配线的交叉点的电容变化，所述检测部检测上述列配线与上述行配线的交叉点的电容变化，基于该检测结果，检测从外部施加的压力分布，在形成了上述第二基板的上述行配线的面上配置着噪声检测用行配线(50)。
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公开(公告)号：CN1261234C
公开(公告)日：2006-06-28
申请号：CN200410001556.9
申请日：2004-01-13
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
Abstract: 一种蒸汽处理装置，具有由向被处理物(A)喷射用于蒸汽处理的蒸汽(G1)的蒸汽喷嘴(2)、设在蒸汽喷嘴(2)附近并将供给蒸汽处理后的蒸汽(G2)的至少一部分排出到蒸汽处理系统外的排气机构(5)、冷却蒸汽处理后的蒸汽(G2)的冷却机构(6)所组成的蒸汽处理部(10)，在被处理物(A)的表面和蒸汽处理部(10)之间的间隙中形成有可以让被冷却机构(6)冷却而凝结的蒸汽的冷凝液(L2)通过的流路(15)。这种蒸汽处理装置，能够防止从被处理物除去的除去物再次附着在被处理物上、而且能够减小排气量和降低成本。
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公开(公告)号：CN1573366A
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN200410046412.5
申请日：2004-05-28
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
IPC: G02B5/18
Abstract: 一种曲面微细结构的形成方法，该曲面微细结构的形成方法，其特征在于：使柔性膜(2)以与曲面(1c)间隔开的状态安装在具有曲面(1c)的母材(1)上，在柔性膜(2)的与母材(1)相反侧的一面(2b)上形成微细结构(3a)，使柔性膜(2)沿母材(1)的曲面(1c)进行接合。这种曲面微细结构的形成方法，能相对于曲面高精度地对正形成微细结构。
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公开(公告)号：CN1166036A
公开(公告)日：1997-11-26
申请号：CN97104260.8
申请日：1997-05-14
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
Inventor： 伊藤卓雄
Abstract: 芯片电子器件制造工序既要简单又要能批量生产，而且仅与端面的电极层相压接即可获得充分地导通。在基板上形成多数的平行长孔，在长孔内形成电极层3，在基板的表面上和电极层3的表面部上，形成由连续电子器件组成的电子器件层之后，经切断基板两分割成单个的芯片电子器件1，从而在基体2的表面上形成电子器件层4，而电子器件层4的端部，在基体2的两侧所形成的电极层3的表面部3a上，再同电极层3进行电的连接，结果即可获得芯片电子器件1。
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