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公开(公告)号：CN111328426A
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201880072357.7
申请日：2018-10-18
Applicant: 阿尔卡姆公司
IPC: H01J37/304 , H01J3/02 , B29C64/153 , B29C64/393 , B22F3/105
Abstract: 一种用于检测电子束源中的电子束丝磨损的方法，该方法包括以下步骤：将工作台上电子束源发出的束斑扩大到预定最小尺寸；通过相机捕获工作台上的束斑的图像；将束斑的捕获图像与参考图像进行比较；如果捕获图像与参考图像偏离大于预定值，则检测到丝磨损。
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