用于获得重合片材参数的基于时域频谱(TDS)的方法和系统

    公开(公告)号:CN102171549B

    公开(公告)日:2013-08-07

    申请号:CN200980138678.3

    申请日:2009-07-31

    Abstract: 一种用于在由制造系统(700)生产时的片材的性质的非接触表征的现场的基于时域频谱(TDS)的方法(200)。提供时域频谱系统(100)和用于系统(100)的校准数据。校准数据包括作为片材的含湿量的函数的、通过片材透射的功率或者从片材反射的功率的数据。将来自透射机(111)的THz或近THz辐射的至少一个脉冲引导至正由制造系统(700)处理的片材样本(130)上的样本位置处。由检测器(110)同步检测与来自样本位置的至少一个透射脉冲或反射脉冲相关联的透射辐射或反射辐射以获得样本数据。连同校准数据(207、208、209)一起处理作为重合数据的样本数据以确定选自片层厚度、基重和含湿量的片材样本(130)的至少一个性质并且通常是多个性质。

    用于获得重合片材参数的基于时域频谱(TDS)的方法和系统

    公开(公告)号:CN102171549A

    公开(公告)日:2011-08-31

    申请号:CN200980138678.3

    申请日:2009-07-31

    Abstract: 一种用于在由制造系统(700)生产时的片材的性质的非接触表征的现场的基于时域频谱(TDS)的方法(200)。提供时域频谱系统(100)和用于系统(100)的校准数据。校准数据包括作为片材的含湿量的函数的、通过片材透射的功率或者从片材反射的功率的数据。将来自透射机(111)的THz或近THz辐射的至少一个脉冲引导至正由制造系统(700)处理的片材样本(130)上的样本位置处。由检测器(110)同步检测与来自样本位置的至少一个透射脉冲或反射脉冲相关联的透射辐射或反射辐射以获得样本数据。连同校准数据(207、208、209)一起处理作为重合数据的样本数据以确定选自片层厚度、基重和含湿量的片材样本(130)的至少一个性质并且通常是多个性质。

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