公开(公告)号：CN101772705A

公开(公告)日：2010-07-07

申请号：CN200880101859.4

申请日：2008-06-25

Applicant: 飞思卡尔半导体公司

Inventor： 林一贞 ,  马尔科·富尔曼 ,  安德鲁·C·麦克耐尔

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/00 ,  G01J3/00

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P2015/0831

Abstract: 一种对称差动电容式传感器(60)，包括围绕几何居中的旋转轴(70)可枢转的可动元件(66)。元件(66)包括部件(86，88)。部件(86，88)的每个具有与旋转轴(70)距离相等的止动器(94，96)。部件(86，88)的每个也具有孔(102，106)的不同配置(104，108)。孔(102，106)的配置(104，108)造成部件(86，88)之间的质量不平衡，使得元件(66)响应于加速度围绕旋转轴(70)枢转。孔(102，106)也可在制造期间促进蚀刻释放，并在元件(66)旋转时减少空气阻尼。孔(126，128)形成于位于孔(102，106)之下的电极(78，80)中，来匹配可动元件(86)的两部件(86，88)之间的电容，以提供相同的双向激励能力。