公开(公告)号：CN103226017B

公开(公告)日：2017-06-23

申请号：CN201310037748.4

申请日：2013-01-31

Applicant: 飞思卡尔半导体公司

Inventor： H·罗瑞克 ,  K·L·卡拉维尔 ,  G·G·李 ,  林义真

IPC: G01C19/5684

CPC classification number: G01C19/5733 ,  G01C19/574

Abstract: 提供耐振动的X轴环形陀螺仪换能器。一种微机电系统（MEMS）换能器（100、700）适用于使用横轴振动来响应于换能器绕旋转轴（170、770）的旋转运动在一对跷跷板感测质体结构（120/140、720/730）中生成非平面振荡，感测电极被连接以将来自该对感测质体结构的拾取信号（例如，102/107、802/807）对角地相加以抵销与旋转振动相关联的信号。

公开(公告)号：CN104052401A

公开(公告)日：2014-09-17

申请号：CN201410095374.6

申请日：2014-03-14

Applicant: 飞思卡尔半导体公司

Inventor： M·E·施拉曼 ,  方德有 ,  K·L·卡拉维尔

IPC: H03B5/04

CPC classification number: H03L3/00 ,  H03B5/30 ,  H03B2200/0094

Abstract: MEMS谐振器系统包括MEMS谐振器、启动电路、反馈电路、振荡器以及开关。所述MEMS谐振器系统被配置为提供有频率和周期的脉冲的启动信号，以便传送给所述MEMS谐振器的能量在短时间被优化，这就缩短了振荡器的启动时间。当所述MEMS谐振器的振荡已实现的时候，所述MEMS谐振器系统被配置为断开所述启动信号，并且在反馈电路中切换以将所述MEMS谐振器维持在振荡状态。

公开(公告)号：CN104034920A

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201410079550.7

申请日：2014-03-06

Applicant: 飞思卡尔半导体公司

Inventor： D·方 ,  K·L·卡拉维尔 ,  H·罗瑞克 ,  M·A·马古利斯 ,  M·E·施拉曼

IPC: G01P21/00 ,  G01P15/125

CPC classification number: G01P21/00 ,  G01P15/125

Abstract: 本发明涉及监视加速计的系统及方法。提供了监视MEMS加速计（100）的操作的系统及方法。在这些实施例中，具有正向通路（114）的控制回路（112）耦合至MEMS加速计换能器（110），并提供了测试信号发生器（124）和测试信号检测器（126）。测试信号发生器（124）被配置为生成测试信号并且在MEMS加速计换能器（110）的操作期间将该测试信号施加于控制回路（112）的正向通路（114）。测试信号检测器（126）被配置为从该控制回路接收输出信号并检测该测试信号在输出信号中的效果。最后，测试信号检测器还被配置为生成指示该感测设备的操作的监视输出，以提供对MEMS加速计的操作的连续监视。

公开(公告)号：CN103226017A

公开(公告)日：2013-07-31

申请号：CN201310037748.4

申请日：2013-01-31

Applicant: 飞思卡尔半导体公司

Inventor： H·罗瑞克 ,  K·L·卡拉维尔 ,  G·G·李 ,  林义真

IPC: G01C19/5684

CPC classification number: G01C19/5733 ,  G01C19/574

Abstract: 提供耐振动的X轴环形陀螺仪换能器。一种微机电系统（MEMS）换能器（100、700）适用于使用横轴振动来响应于换能器绕旋转轴（170、770）的旋转运动在一对跷跷板感测质体结构（120/140、720/730）中生成非平面振荡，感测电极被连接以将来自该对感测质体结构的拾取信号（例如，102/107、802/807）对角地相加以抵销与旋转振动相关联的信号。