公开(公告)号：JP5717248B2

公开(公告)日：2015-05-13

申请号：JP2011075682

申请日：2011-03-30

Applicant: 黒崎播磨株式会社

Inventor： 佐藤 裕 ,  海野 裕人

IPC: H01L21/683 ,  H02N13/00 ,  C04B37/02

公开(公告)号：JP5692845B2

公开(公告)日：2015-04-01

申请号：JP2010247520

申请日：2010-11-04

Applicant: 黒崎播磨株式会社

Inventor： 佐藤 裕 ,  海野 裕人

IPC: C04B35/563

CPC classification number: C04B35/563 ,  C04B35/6455 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3826 ,  C04B2235/3865 ,  C04B2235/3869 ,  C04B2235/3873 ,  C04B2235/424 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/604 ,  C04B2235/721 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/85 ,  C04B2235/96