Patent search ap:("강릉원주대학교산학협력단" OR "(주)보부하이테크") AND inv:"정용헌" Page 1

1.

发明授权
반도체 초고온 박막공정을 위한 저열전도도 특성을 갖는 질화알루미늄 히터용 샤프트 및 이의 제조방법 有权
Title translation: AlN加热器轴对于半导体超高温薄膜工艺具有低导热性能

公开(公告)号：KR101690753B1

公开(公告)日：2017-01-10

申请号：KR1020150106693

申请日：2015-07-28

Applicant: 강릉원주대학교산학협력단 , (주)보부하이테크

Inventor： 하태권 , 박상엽 , 김성진 , 이주성 , 조태현 , 정용헌

IPC: H01L21/324 , H01L21/02

Abstract: 본발명은반도체초고온박막공정을위한저열전도도특성을갖는질화알루미늄히터용샤프트및 이의제조방법에관한것으로, 상부와하부가각각개방되고내부가빈 중공구조를가지며, 상부의직경이상단으로갈수록점점커지는직선형태의경사구조를갖는것을특징으로하는반도체제조공정용히터샤프트를제공한다.

Patent Agency Ranking