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公开(公告)号:KR1020130131790A
公开(公告)日:2013-12-04
申请号:KR1020120055622
申请日:2012-05-24
Applicant: 강원대학교산학협력단
IPC: G01N33/50 , G01N33/53 , G01N33/551
Abstract: The present invention relates to a manufacturing method for porous-alumina-based bio chip, which is capable of separating nanoporous alumia into predetermined patterns and transcribing to a specific position of a flexible polymer substrate. The said method comprises the steps of: depositing aluminum on one side of the first substrate; manufacturing nanoporuous alumina through anodic oxidation process on the aluminum deposited on the first substrate; forming an insulating layer in set patterns on the upper end of the nanoporous alumina; forming nanoporous alumina patterns by etching the nanoporous alumina having the insulating layer; removing the insulating layer; and transcribing on a second substrate by transferring the nanoporous alumina pattern from the first substrate. [Reference numerals] (S10) Deposit aluminum on a first substrate;(S20) Anodic oxidation;(S30) Form an insulating layer;(S40) Etch;(S50) Remove the insulating layer;(S60) Transfer to a second substrate;(S70) Fix antibodies
Abstract translation: 本发明涉及一种多孔 - 氧化铝基生物芯片的制造方法,其能够将纳米多孔铝分离成预定图案并转录到柔性聚合物基材的特定位置。 所述方法包括以下步骤:在第一衬底的一侧上沉积铝; 通过阳极氧化工艺在沉积在第一衬底上的铝上制造纳米氧化铝; 在纳米多孔氧化铝的上端形成设置图案的绝缘层; 通过蚀刻具有绝缘层的纳米多孔氧化铝形成纳米多孔氧化铝图案; 去除绝缘层; 并通过从第一衬底转移纳米多孔氧化铝图案在第二衬底上转录。 (S10)在第一基板上沉积铝(S20)阳极氧化;(S30)形成绝缘层;(S40)蚀刻;(S50)去除绝缘层;(S60)转移到第二基板; (S70)修复抗体
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公开(公告)号:KR101397714B1
公开(公告)日:2014-05-22
申请号:KR1020120055622
申请日:2012-05-24
Applicant: 강원대학교산학협력단
IPC: G01N33/50 , G01N33/53 , G01N33/551
Abstract: 본 발명은 나노다공성 알루미나를 고정의 패턴으로 분리할 수 있고, 유연한 고분자 기판의 특정위치에 전사시킬 수 있는 다공성 알루미나 기반 바이오칩 제조방법에 관한 것으로, 제1기판의 일면에 알루미늄을 증착하는 단계와, 상기 제1기판에 증착된 알루미늄에 양극 산화 공정을 통해 나노 다공성 알루미나를 제작하는 단계와, 상기 나노 다공성 알루미나 상단에 소정의 패턴으로 절연층을 형성하는 단계와, 상기 절연층이 형성된 나노 다공성 알루미나를 에칭하여 나노다공성 알루미나 패턴을 형성하는 단계와, 상기 절연층을 제거하는 단계와, 상기 제1기판에서 나노다공성 알루미나 패턴을 이송하여 제2기판에 전사하는 단계를 포함한다.
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