公开(公告)号：KR1020160136811A

公开(公告)日：2016-11-30

申请号：KR1020150070857

申请日：2015-05-21

Applicant: 경북대학교 산학협력단

Inventor： 허영우 ,  유재록 ,  슈엔하이엔뷔 ,  김정주 ,  이준형

IPC: G01N27/407 ,  C23C14/34 ,  C23C14/08

Abstract: 황화수소센싱층의제조방법, 황화수소센서및 이를이용한황화수소의감지방법에서, 황화수소센싱층의제조방법은 300 내지 700 ℃의온도범위하에서, 아르곤가스와산소가스의분압비율이 95:5 초과 97:3 이하인상태에서구리타겟을이용하여스퍼터링공정을수행하는단계를포함한다.

公开(公告)号：KR101715476B1

公开(公告)日：2017-03-10

申请号：KR1020150070857

申请日：2015-05-21

Applicant: 경북대학교 산학협력단

Inventor： 허영우 ,  유재록 ,  슈엔하이엔뷔 ,  김정주 ,  이준형

IPC: G01N27/407 ,  C23C14/34 ,  C23C14/08

Abstract: 황화수소센싱층의제조방법, 황화수소센서및 이를이용한황화수소의감지방법에서, 황화수소센싱층의제조방법은 300 내지 700 ℃의온도범위하에서, 아르곤가스와산소가스의분압비율이 95:5 초과 97:3 이하인상태에서구리타겟을이용하여스퍼터링공정을수행하는단계를포함한다.