公开(公告)号：WO2022102868A1

公开(公告)日：2022-05-19

申请号：PCT/KR2020/019490

申请日：2020-12-31

Applicant: 경희대학교산학협력단 ,  재단법인 한국마이크로의료로봇연구원

Inventor： 이상민 ,  김자영 ,  김강일 ,  한승주 ,  이재근

IPC: H01L21/3065 ,  G01N27/414 ,  H01L21/308 ,  H01L21/02

Abstract: 본 발명은 단결정 실리콘을 이용한 하향식(top-down) 방식의 나노와이어 제조방법에 관한 것으로, 구체적으로는 수평으로 배열된 단층의 실리콘 나노와이어 어레이를 수직적으로 적층하는 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 실리콘 나노와이어의 폭과 두께를 각각 조절이 가능하며, 수직적의 다수의 나노와이어를 배치가능하게 함으로써 센서(광, 화학, 물리 등)로 활용하는 경우, 동적 범위(dynamic range), 해상도(resolution) 및 감도(sensitivity)를 향상시킬 수 있다.