-
公开(公告)号：KR100535708B1
公开(公告)日：2005-12-09
申请号：KR1020040021482
申请日：2004-03-30
Applicant: 고등기술연구원연구조합
IPC: C02F11/12 , C02F103/16
Abstract: 본 발명은 피가공물의 세공 및 연마공정에서 발생되는 유분이 다량 함유된 현탁액인 폐슬러지의 오염입자 세정 및 분리장치에 관한 것으로서, 폐슬러지가 유입되는 상부 유입구의 배출단부에 형성된 슬러지 분배기와; 상기 상부 유입구를 상부에 내장하면서, 상부 일측에 상부 배출구가 형성된 수직형 몸체와; 상기 수직형 몸체의 하부에 내장 충전되는 비드 충전부와; 상기 비드 충전부 하부에 이중관 형태로 형성되어 내부관으로는 용제를 공급하고, 외부관으로는 세정된 입자를 배출하는 이중관부로 구성되는 특징으로 하는 폐슬러지의 오염입자 세정 및 분리장치를 제공한다.
이와 같이, 본 발명은 세공 및 연마공정에서 발생하는 절삭제, 절삭유 그리고 파편미립자가 포함된 폐슬러지 중에 포함된 절삭제 및 절삭유를 효과적으로 분리하여 고순도로 회수할 수 있으며, 회수된 절삭제와 절삭유는 세공 또는 연마공정에 재사용함으로써 생산단가 절감할 수 있다.-
公开(公告)号：KR1020050096330A
公开(公告)日：2005-10-06
申请号：KR1020040021482
申请日：2004-03-30
Applicant: 고등기술연구원연구조합
IPC: C02F11/12 , C02F103/16
CPC classification number: C02F11/12 , C02F2103/16 , C02F2201/002 , C02F2303/06
Abstract: 본 발명은 피가공물의 세공 및 연마공정에서 발생되는 유분이 다량 함유된 현탁액인 폐슬러지의 오염입자 세정 및 분리장치에 관한 것으로서, 폐슬러지가 유입되는 상부 유입구의 배출단부에 형성된 슬러지 분배기와; 상기 상부 유입구를 상부에 내장하면서, 상부 일측에 상부 배출구가 형성된 수직형 몸체와; 상기 수직형 몸체의 하부에 내장 충전되는 비드 충전부와; 상기 비드 충전부 하부에 이중관 형태로 형성되어 내부관으로는 용제를 공급하고, 외부관으로는 세정된 입자를 배출하는 이중관부로 구성되는 특징으로 하는 폐슬러지의 오염입자 세정 및 분리장치를 제공한다.
이와 같이, 본 발명은 세공 및 연마공정에서 발생하는 절삭제, 절삭유 그리고 파편미립자가 포함된 폐슬러지 중에 포함된 절삭제 및 절삭유를 효과적으로 분리하여 고순도로 회수할 수 있으며, 회수된 절삭제와 절삭유는 세공 또는 연마공정에 재사용함으로써 생산단가 절감할 수 있다.-
公开(公告)号：KR1020050096328A
公开(公告)日：2005-10-06
申请号：KR1020040021480
申请日：2004-03-30
Applicant: 고등기술연구원연구조합
IPC: H01L21/301
CPC classification number: H01L21/6715 , H01L21/02032 , H01L21/67098
Abstract: 본 발명은 반도체 웨이퍼 제조공정 중에서 발생하는 절삭재, 절삭유 그리고 Si 분말이 포함된 슬러지를 처리하여 절삭유 및 절삭재, 실리콘분말을 분리 회수하여 재활용할 수 있는 반도체 웨이퍼 폐슬러지의 재생장치에 관한 것으로서, 폐슬러지를 공급받아 점도조절제와 혼합하는 제1혼합기와, 상기 제1혼합기로부터 폐슬러지를 공급받아 고형물과 액상을 분리하는 제1분리기와, 상기 제1분리기로부터 분리된 고형물을 공급받아 용제와 혼합하는 제2혼합기와, 상기 제2혼합기로부터 용제와 혼합된 고형물을 공급받아 SiC 성분과 Si 성분으로 분리하는 제2분리기와, 상기 제2분리기로부터 분리된 SiC 성분과 Si 성분을 각각 건조하는 제1 및 제2건조기를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 폐슬러지의 재생장치를 제공한다.
이와 같이, 본 발명은 폐실리콘 슬러지를 폐기처분하지 않고, 이에 포함된 절삭유 및 절삭재(SiC)를 거의 전량 회수하여 재사용하는 것이 가능하여 반도체 생산단가를 낮출 수 있는 효과가 있으며, 폐슬러지량을 최소화함으로서 주위 환경오염을 방지할 수 있는 효과가 있는 것이다.-
公开(公告)号：KR100542208B1
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：KR1020040021480
申请日：2004-03-30
Applicant: 고등기술연구원연구조합
IPC: H01L21/301
Abstract: 본 발명은 반도체 웨이퍼 제조공정 중에서 발생하는 절삭재, 절삭유 그리고 Si 분말이 포함된 슬러지를 처리하여 절삭유 및 절삭재, 실리콘분말을 분리 회수하여 재활용할 수 있는 반도체 웨이퍼 폐슬러지의 재생장치에 관한 것으로서, 폐슬러지를 공급받아 점도조절제와 혼합하는 제1혼합기와, 상기 제1혼합기로부터 폐슬러지를 공급받아 고형물과 액상을 분리하는 제1분리기와, 상기 제1분리기로부터 분리된 고형물을 공급받아 용제와 혼합하는 제2혼합기와, 상기 제2혼합기로부터 용제와 혼합된 고형물을 공급받아 SiC 성분과 Si 성분으로 분리하는 제2분리기와, 상기 제2분리기로부터 분리된 SiC 성분과 Si 성분을 각각 건조하는 제1 및 제2건조기를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 폐슬러지의 재생장치를 제공한다.
이와 같이, 본 발명은 폐실리콘 슬러지를 폐기처분하지 않고, 이에 포함된 절삭유 및 절삭재(SiC)를 거의 전량 회수하여 재사용하는 것이 가능하여 반도체 생산단가를 낮출 수 있는 효과가 있으며, 폐슬러지량을 최소화함으로서 주위 환경오염을 방지할 수 있는 효과가 있는 것이다.
반도체, 실리콘, 점도조절, 절삭유, 슬러지, 원심분리, 비중분리, 응축기
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.016 seconds)
