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公开(公告)号：KR1020060087755A
公开(公告)日：2006-08-03
申请号：KR1020050008574
申请日：2005-01-31
Applicant: 고등기술연구원연구조합
IPC: G02B3/00
Abstract: 본 발명은 압력차와 레이저를 이용하여 저비용으로 구현할 수 있는 마이크로 렌즈 어레이 형성장치 및 방법에 관한 것이다.
이러한 본 발명의 장치는 운용을 위한 소프트웨어가 탑재된 제어 컴퓨터와, 제어 컴퓨터의 제어에 따라 가공을 위한 레이저 빔을 발생하는 레이저 발생기와, 레이저 발생기에서 발생된 레이저 빔을 가공에 적합한 빔으로 형성하여 마이크로렌즈를 형성할 재료측으로 유도하는 광 전달 메커니즘과, 마이크로 렌즈를 형성할 재료의 상하에 소정의 압력차를 발생시키고 광 전달 메커니즘을 통해 전달된 레이저 빔에 의해 재료에 마이크로렌즈를 형성하는 기구부와, 기구부의 압력차를 발생하기 위한 압력차 조절수단으로 구성된다.
따라서 본 발명에 따르면 마이크로 렌즈 제작의 공정이 단순해지고, 제작 경비와 운영비가 저렴해지는 이점을 제공할 수 있다.
레이저, 마이크로렌즈, 어레이, 압력차, 광 전달, 마스크
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