公开(公告)号：WO2016032093A1

公开(公告)日：2016-03-03

申请号：PCT/KR2015/005222

申请日：2015-05-26

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 박정호 ,  나대석

IPC: G01N27/22 ,  G01N33/30 ,  G01R27/26

CPC classification number: G01N27/22 ,  G01N33/30 ,  G01R27/26

Abstract: 용량형 센서가 개시된다. 상기 용량형 센서는 기판, 상기 기판 상에 형성된 제1 전극과 제2 전극, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극이 형성된 상기 기판 상에 형성된 절연막, 및 상기 절연막 상에 형성되고 그래핀을 포함하는 감지막을 포함한다.

Abstract translation: 公开了一种电容传感器。 电容传感器包括：基板; 形成在基板上的第一和第二电极; 形成在其上形成有第一和第二电极的基板上的绝缘膜; 以及形成在绝缘膜上并包括石墨烯的感测膜。

公开(公告)号：KR101645213B1

公开(公告)日：2016-08-04

申请号：KR1020140173486

申请日：2014-12-05

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 박정호 ,  나대석

IPC: G01N27/22

CPC classification number: G01R27/2605 ,  G01D5/24 ,  G01D5/2405 ,  G01N33/30 ,  H01L21/306 ,  H01L21/31

Abstract: 용량형센서가개시된다. 상기용량형센서는기판, 상기기판상에형성된제1 전극과제2 전극, 상기제1 전극과상기제2 전극이형성된상기기판상에형성된절연막, 및상기절연막상에형성되고그래핀을포함하는감지막을포함한다.

公开(公告)号：KR1020160027873A

公开(公告)日：2016-03-10

申请号：KR1020140173486

申请日：2014-12-05

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 박정호 ,  나대석

IPC: G01N27/22

CPC classification number: G01R27/2605 ,  G01D5/24 ,  G01D5/2405 ,  G01N33/30 ,  H01L21/306 ,  H01L21/31 ,  G01N27/22 ,  G01N27/221 ,  G01N2027/222

Abstract: 용량형센서가개시된다. 상기용량형센서는기판, 상기기판상에형성된제1 전극과제2 전극, 상기제1 전극과상기제2 전극이형성된상기기판상에형성된절연막, 및상기절연막상에형성되고그래핀을포함하는감지막을포함한다.

Abstract translation: 公开了一种电容传感器。 电容传感器包括：基板; 形成在所述基板上的第一和第二电极; 形成在具有第一和第二电极的基板上的绝缘膜; 以及形成在绝缘膜上并包括石墨烯的感测膜，从而允许测量被测物体的电特性和高灵敏度的电特性变化。