-
公开(公告)号：KR102230359B1
公开(公告)日：2021-03-22
申请号：KR1020190012409A
申请日：2019-01-31
Applicant: 고려대학교 산학협력단
CPC classification number: G01N21/171 , G01N21/35 , G01N25/20 , G02B3/00 , G01N2021/1712 , G02B2003/0093
Abstract: 개시된 본 발명에 의한 공간 분해능이 향상된 프로브 스테이션장치는, 대상체를 촬영하는 촬영부 및 대상체와 촬영부 사이에 위치하여 촬영부에 의해 촬영되는 대상체의 분해능을 향상시키는 렌즈부를 포함하며, 렌즈부는 침지렌즈를 포함한다. 이러한 구성에 의하면, 대상체의 열적 및 전기적 특성 검측의 공간 분해능이 향상되어, 수 마이크로 이내의 대상체의 특성 검출에도 효과적이다.
-
公开(公告)号：KR102230359B1
公开(公告)日：2021-03-22
申请号：KR1020190012409
申请日：2019-01-31
Applicant: 고려대학교 산학협력단
Abstract: 개시된본 발명에의한공간분해능이향상된프로브스테이션장치는, 대상체를촬영하는촬영부및 대상체와촬영부사이에위치하여촬영부에의해촬영되는대상체의분해능을향상시키는렌즈부를포함하며, 렌즈부는침지렌즈를포함한다. 이러한구성에의하면, 대상체의열적및 전기적특성검측의공간분해능이향상되어, 수마이크로이내의대상체의특성검출에도효과적이다.
-
Search Results
2
records
(took 0.018 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
