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公开(公告)号：WO2014109542A1
公开(公告)日：2014-07-17
申请号：PCT/KR2014/000193
申请日：2014-01-08
Applicant: 고려대학교 산학협력단
CPC classification number: C23C24/04
Abstract: 본 발명은 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치에 관한 것으로, 화학기상증착법과 같은 진공 공정 및 별도의 에칭과 전사 과정 등의 복잡한 제조 공정을 거치지 않고, 그래핀 입자와 휘발성 액체를 혼합한 혼합 용액을 초음속 분사 노즐을 통해 분사하는 단순 스프레이 방식을 통해 그래핀 입자를 기판에 용이하게 증착 코팅시킬 수 있고, 상대적으로 저온 상태에서 그래핀 입자를 증착 코팅시킬 수 있도록 함으로써, 고온의 열에 취약한 유연 기판 등의 표면에도 그래핀 입자의 증착 코팅을 용이하게 수행할 수 있으며 더욱 다양한 용도로 활용할 수 있는 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치를 제공한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种低温喷雾式石墨烯沉积装置，并且提供了一种低温喷射型石墨烯沉积装置，其可以通过简单的喷涂方法在基板上沉积和涂覆石墨烯颗粒，以通过超音速喷嘴喷雾，混合 石墨烯颗粒和挥发性液体的溶液，没有真空处理如化学气相沉积法和复杂的制造工艺如单独的蚀刻和转移工艺等，可以容易地沉积和涂覆石墨烯颗粒，甚至在 通过在相对低的温度状态下沉积和涂覆石墨烯颗粒而易受高热等影响的柔性基板，并且可以以更多种方式使用。
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公开(公告)号：WO2012108704A2
公开(公告)日：2012-08-16
申请号：PCT/KR2012/000972
申请日：2012-02-09
IPC: H01L31/18 , H01L31/042
CPC classification number: H01L31/18 , C23C24/04 , C23C24/045 , H01L21/02568 , H01L21/0259 , H01L21/02628 , H01L31/0322 , H01L31/0749 , H01L31/206 , Y02E10/541 , Y02P70/521
Abstract: 본 발명은, 챔버 내 장착되어 태양전지 기판이 배치되는 기판 스테이지; 상기 태양전지 기판 상에 태양전지층을 형성하기 위하여 상기 기판 스테이지로 무기물 파우더를 포함하는 무기물 파우더 에어로졸을 초음속 유동으로 토출하는 노즐과, 상기 노즐에 상기 무기물 파우더 에어로졸을 공급하는 무기물 파우더 공급부를 구비하는 무기물 파우더 공급 유니트;를 구비하는 무기물 박막 태양전지 제조 장치를 제공하고 롤투롤 유니트를 구비하는 무기물 박막 태양전지 제조 장치 및 이의 제조 방법을 제공한다.
Abstract translation: 无机薄膜太阳能电池的制造装置技术领域本发明涉及一种无机薄膜太阳能电池的制造装置，其特征在于，包括：基板台，配置在室内，设置有太阳能电池基板; 以及无机粉体供给单元，其包括用于以超音速流将含有无机粉末的无机粉末气溶胶喷涂到基板台上以在太阳能电池基板上形成太阳能电池层的喷嘴，以及无机粉末供给 向喷嘴供给无机粉末气溶胶的部分。 本发明涉及一种包括用于制造无机薄膜太阳能电池的卷对单元的设备以及无机薄膜太阳能电池的制造方法。
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公开(公告)号：KR101732260B1
公开(公告)日：2017-05-04
申请号：KR1020150105968
申请日：2015-07-27
Applicant: 고려대학교 산학협력단
Abstract: 본발명은실리콘입자가저장되는공급호퍼와, 상기공급호퍼로부터실리콘입자를공급받아초음속으로분사시키는초음속분사기와, 상기초음속분사기의전방에위치하여초음속으로분사된실리콘입자가충돌하는충돌플레이트와, 상기충돌플레이트의하부에설치되며충돌에의해분쇄된일정크기의실리콘입자를선별하여수거하는수거유닛및 상기수거유닛과연결되어선별되지못한실리콘입자를회수하여공급호퍼로공급하는재공급유닛을포함하는것을특징으로하는실리콘입자분쇄장치가개시된다. 이에따라원하는크기의실리콘입자를얻을수 있고실리콘입자의수율을향상시키게된다.
Abstract translation: 和碰撞板的本发明是，注入到存储的硅颗粒进料斗的超音速位于前方的聚硅氧烷颗粒，超音速喷气机和其中，当供给至从进料斗注入硅粒子到超音速碰撞超音速喷气机， 包括被安装在供给到收集单元和所述进料斗以回收聚硅氧烷颗粒不选择被连接到所述收集单元，用于收集和筛选具有由所述冲击板的冲击粉碎的预定尺寸的硅颗粒的材料供给部 公开了一种硅颗粒粉碎装置。 因此，可以获得所需尺寸的硅颗粒并且可以改善硅颗粒的产率。
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公开(公告)号：KR1020170013471A
公开(公告)日：2017-02-07
申请号：KR1020150105968
申请日：2015-07-27
Applicant: 고려대학교 산학협력단
Abstract: 본발명은실리콘입자가저장되는공급호퍼와, 상기공급호퍼로부터실리콘입자를공급받아초음속으로분사시키는초음속분사기와, 상기초음속분사기의전방에위치하여초음속으로분사된실리콘입자가충돌하는충돌플레이트와, 상기충돌플레이트의하부에설치되며충돌에의해분쇄된일정크기의실리콘입자를선별하여수거하는수거유닛및 상기수거유닛과연결되어선별되지못한실리콘입자를회수하여공급호퍼로공급하는재공급유닛을포함하는것을특징으로하는실리콘입자분쇄장치가개시된다. 이에따라원하는크기의실리콘입자를얻을수 있고실리콘입자의수율을향상시키게된다.
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公开(公告)号：KR1020120058769A
公开(公告)日：2012-06-08
申请号：KR1020100120212
申请日：2010-11-30
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: C23C24/00
Abstract: PURPOSE: A flow simulation method for a supersonic nozzle used for particle coating is provided to select a supersonic nozzle having an optimum parameter suitable for various conditions of particle coating by using various parameters affecting the particle flow of a supersonic nozzle used for particle coating. CONSTITUTION: A flow simulation method for a supersonic nozzle used for particle coating comprises the steps of: setting a governing equation for flow interpretation of a supersonic nozzle(S20), selecting two or more among parameters for the supersonic nozzle applied to the governing equation(S21), setting the rest parameters to corresponding to a particle coating condition(S22), simulating the governing equation while changing the selected parameters(S23), and determining the optimum values of the selected parameters based on the simulation result(S24).
Abstract translation: 目的：提供用于颗粒涂层的超音速喷嘴的流动模拟方法，通过使用影响用于颗粒涂层的超音速喷嘴的颗粒流动的各种参数来选择具有适用于各种颗粒涂层条件的最佳参数的超音速喷嘴。 构成：用于颗粒涂布的超音速喷嘴的流动模拟方法包括以下步骤：设置超音速喷嘴的流量解释的控制方程（S20），选择适用于控制方程的超音速喷嘴的参数中的两个或更多 S21），将其余的参数设定为对应于粒子涂布条件（S22），模拟控制方程式同时改变所选择的参数（S23），并且基于模拟结果确定所选参数的最佳值（S24）。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101311107B1
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：KR1020120005920
申请日：2012-01-18
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: H01L31/18 , H01L31/042
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 본 발명의 다른 일면에 따르면, 본 발명은, 챔버 내 장착되어 권취 가능한 태양전지 기판이 배치되고 상기 태양전지 기판에 열을 제공하는 스테이지 가열플레이트가 구비되는 기판 스테이지; 상기 챔버의 양단 측에 배치되고, 상기 태양전지 기판이 상기 챔버를 관통하여 가동되도록 상기 태양전지 기판을 일단에서 권출시키는 권출 롤러부와, 타단에서 권취시키는 권취 롤러부를 포함하는 롤투롤 유니트; 상기 챔버 내에 배치되고, 상기 태양전지 기판 상에 태양전지층을 형성하기 위하여 상기 기판 스테이지로 무기물 파우더를 포함하는 무기물 파우더 에어로졸을 초음속 유동으로 토출하는 노즐과, 상기 노즐에 상기 무기물 파우더 에어로졸을 공급하는 무기물 파우더 공급부를 구비하는 무기물 파우더 공급 유니트;를 구비하고, 상기 무기물 파우더를 상기 태양전지 기판에 증착시키는 무기물 박막 태양전지 제조 장치 및 이의 제어 방법을 제공한다.
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公开(公告)号：KR1020130000257A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：KR1020110060847
申请日：2011-06-22
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: H01L31/18 , H01L31/042 , H01L31/0224 , H01L31/0216
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/18 , H01L31/0216 , H01L31/0224 , H01L31/042
Abstract: PURPOSE: An apparatus for spraying a grid line and a passivation layer on a solar cell substrate is provided to reduce oxidation due to outside exposure, thereby increasing photoelectric efficiency. CONSTITUTION: A powder supply part includes a nozzle part and a powder feed part. The nozzle part includes an electrode nozzle and a passivation nozzle. The powder feed part includes a metal powder feed part(20b) and a ceramic powder feed part(20c). A slit is arranged between the nozzle part and a substrate stage. The slit allows ceramic powder aerosol and metal powder aerosol to pass through.
Abstract translation: 目的：提供一种用于在太阳能电池基板上喷涂网格线和钝化层的装置，以减少由外部暴露引起的氧化，从而提高光电效率。 构成：粉末供给部包括喷嘴部和粉末供给部。 喷嘴部分包括电极喷嘴和钝化喷嘴。 粉末供给部包括金属粉末供给部（20b）和陶瓷粉末供给部（20c）。 在喷嘴部和基板台之间设置有狭缝。 狭缝允许陶瓷粉末气溶胶和金属粉末气溶胶通过。
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公开(公告)号：KR101217330B1
公开(公告)日：2012-12-31
申请号：KR1020110012063
申请日：2011-02-10
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: H01L31/18 , H01L31/0445
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 본발명은, 챔버내 장착되어태양전지기판이배치되는기판스테이지; 상기태양전지기판상에태양전지층을형성하기위하여상기기판스테이지로무기물파우더를포함하는무기물파우더에어로졸을토출하는노즐과, 상기노즐에상기무기물파우더에어로졸을공급하는무기물파우더공급부를구비하는무기물파우더공급유니트; 상기노즐과상기기판스테이지사이에배치되고상기태양전지층의형성을위하여상기노즐로부터분사된상기무기물파우더에어로졸의관통을선택적으로허용하는슬릿부; 상기태양전지기판상에형성되는상기태양전지층에국부적열에너지를공급하는도선열에너지제공부;를구비하는무기물박막태양전지제조장치를제공한다.
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公开(公告)号：KR1020120097248A
公开(公告)日：2012-09-03
申请号：KR1020110016726
申请日：2011-02-24
Applicant: 고려대학교 산학협력단
CPC classification number: Y02E10/542 , Y02P70/521 , H01L31/18 , H01L31/04
Abstract: PURPOSE: An apparatus for aerosol deposition for a dye-sensitized solar cells and a method thereof are provided to increase electromigration between a solar cell substrate and a photoelectrode by forming a compact photoelectrode blocking layer without pores using an aerosol deposition method. CONSTITUTION: A vacuum chamber(11) forms a room temperature vacuum using a vacuum pump(15). The vacuum chamber and the vacuum pump are connected by a vacuum pump line(14). A dye-sensitive solar cell substrate(13) is arranged on a substrate stage(12). An aerosol deposition unit(20) comprises a carrier gas unit(40) and a nozzle(27). The carrier gas unit comprises a carrier gas source(41) and a carrier gas regulator(45). [Reference numerals] (33) Dry unit; (34) Grinder; (50) Control unit; (60) Storage unit; (70) Calculation unit
Abstract translation: 目的：提供一种用于染料敏化太阳能电池的气溶胶沉积装置及其方法，其通过使用气溶胶沉积法形成无孔的致密的光电极阻挡层来增加太阳能电池基板和光电极之间的电迁移。 构成：真空室（11）使用真空泵（15）形成室温真空。 真空室和真空泵通过真空泵管线（14）连接。 染料敏感的太阳能电池基板（13）设置在基板台（12）上。 气溶胶沉积单元（20）包括载气单元（40）和喷嘴（27）。 载气单元包括载气源（41）和载气调节器（45）。 （附图标记）（33）干燥单元; （34）研磨机; （50）控制单元; （60）存储单元; （70）计算单位
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公开(公告)号：KR101518545B1
公开(公告)日：2015-05-07
申请号：KR1020130002613
申请日：2013-01-09
Applicant: 고려대학교 산학협력단
Abstract: 본 발명은 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치에 관한 것으로, 화학기상증착법과 같은 진공 공정 및 별도의 에칭과 전사 과정 등의 복잡한 제조 공정을 거치지 않고, 그래핀 입자와 휘발성 액체를 혼합한 혼합 용액을 초음속 분사 노즐을 통해 분사하는 단순 스프레이 방식을 통해 그래핀 입자를 기판에 용이하게 증착 코팅시킬 수 있고, 상대적으로 저온 상태에서 그래핀 입자를 증착 코팅시킬 수 있도록 함으로써, 고온의 열에 취약한 유연 기판 등의 표면에도 그래핀 입자의 증착 코팅을 용이하게 수행할 수 있으며 더욱 다양한 용도로 활용할 수 있는 저온 스프레이 방식 그래핀 증착 장치를 제공한다.
Abstract translation: 本发明是一个低温喷涂是涉及一种销蒸发设备，无需经过复杂的制造过程会如真空过程和单独的蚀刻和转移过程，例如化学气相沉积法，石墨烯的颗粒和挥发性液体混合超音速的混合溶液 通过允许和使用简单的喷涂方法，用于通过喷嘴喷雾能够容易地沉积的涂层到基材上的石墨烯颗粒，沉积涂层具有相对较低的温度状态下，表面，所述石墨烯颗粒诸如高温热量的弱柔性基板 这样便于在销的涂层颗粒的沉积，以及提供可在多个应用程序中使用的低温喷雾石墨烯沉积设备。
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