폴리디아세틸렌 초분자체를 이용한 마이크로/나노 소자의발열 특성 계측 방법
    1.
    发明授权
    폴리디아세틸렌 초분자체를 이용한 마이크로/나노 소자의발열 특성 계측 방법 失效
    使用聚二乙炔超分子的MEMS / NEMS的热表征方法

    公开(公告)号:KR100941020B1

    公开(公告)日:2010-02-05

    申请号:KR1020080026922

    申请日:2008-03-24

    Abstract: 자가 형광 발현 특성을 갖는 폴리디아세틸렌 초분자체를 고분자 용액에 분산시키고 마이크로/나노 소자와 같은 피검사물의 표면에 코팅하여 피검사물의 발열 특성을 계측하는 방법을 제공한다. 피검사물에 전압을 인가하여 발열시키면 발열에 의한 온도 상승으로 피검사물에 코팅한 초분자체가 자가 형광 발현된다. 전압, 형광세기에 따른 온도를 정량화할 수 있으므로, 이러한 특성을 이용하여 피검사물의 시간에 따른 온도 변화를 정량적으로 분석할 수 있다. 이러한 방법은 저렴하고 형광 세기 감소 등의 문제가 없으며 간단하다.

    폴리디아세틸렌 초분자체를 이용한 마이크로/나노 소자의발열 특성 계측 방법
    2.
    发明公开
    폴리디아세틸렌 초분자체를 이용한 마이크로/나노 소자의발열 특성 계측 방법 失效
    使用聚异戊烯超分子的MEMS / NEMS的热表征方法

    公开(公告)号:KR1020090101649A

    公开(公告)日:2009-09-29

    申请号:KR1020080026922

    申请日:2008-03-24

    CPC classification number: G01N25/20 B82Y35/00 G01N1/28 G01N21/6402

    Abstract: PURPOSE: A method for measuring the thermal characteristic of a micro/nano element by using polydiacetylene supermolecules is provided to remove the necessity of correcting the emissivity coefficient of an inspected object and an infrared camera. CONSTITUTION: A method for measuring the thermal characteristic of a micro/nano element by using polydiacetylene supermolecules comprises the following steps of: making a dispersion solution by mixing the polydiacetylene supermolecules with high molecular solution(S2); coating the dispersion solution on an inspected object(S3); exposing the coated dispersion solution to make the supermolecules into macromolecules(S4); and analyzing the temperature change according to the time by using the phenomenon that the supermolecules self-fluoresces due to the increase of temperature which is generated as a voltage is applied to the inspected object(S5).

    Abstract translation: 目的:提供一种通过使用聚二乙炔超分子测量微/纳元件的热特性的方法,以消除校正被检物和红外摄像机的辐射系数的必要性。 构成:使用聚二乙炔超分子测量微/纳元件的热特性的方法包括以下步骤:通过将聚二乙炔超分子与高分子溶液(S2)混合来制备分散溶液; 将分散溶液涂布在检查对象上(S3); 暴露涂覆的分散液使超分子成为大分子(S4); 并且通过使用超分子由于随着电压被施加到检查对象而产生的温度的升高而自发荧光的现象来分析温度变化(S5)。

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