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公开(公告)号:KR102112190B1
公开(公告)日:2020-05-18
申请号:KR1020190016126
申请日:2019-02-12
Applicant: 고려대학교 산학협력단
Inventor: 오승주 , 이우석 , 이승욱 , 오한주
IPC: H01Q1/38 , C23C18/44 , B22F1/02 , H01L29/06