公开(公告)号：KR101877646B1

公开(公告)日：2018-07-13

申请号：KR1020160170269

申请日：2016-12-14

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 김지현 ,  이건엽

IPC: H01L29/16 ,  H01L21/3065 ,  H05H1/46 ,  H01L21/02 ,  C01B31/04

Abstract: 본발명은흑린식각장치에관한것으로, 본발명의제1 실시예에따른흑린식각장치는하면에흑린단편(1)이고정되는기판(10), 내부에기판(10)을수용하는반응챔버(20), 반응챔버(20)의바닥면으로부터흑린단편(1)이이격되도록, 기판(10)을지지하는지지대(30), 휘발성부산물을생성하는공정가스(40); 및공정가스(40)를공급받아플라즈마를유도하고, 플라즈마를기판(10)의상면으로분사하여, 플라즈마이온확산에의해흑린단편(1)을식각하는플라즈마발생기(50)를포함한다.

公开(公告)号：KR102074320B1

公开(公告)日：2020-02-06

申请号：KR1020180067262

申请日：2018-06-12

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 김지현 ,  이건엽

IPC: H01L29/737 ,  H01L29/808 ,  H01L29/10 ,  H01L29/16 ,  H01L29/66

公开(公告)号：KR1020170072806A

公开(公告)日：2017-06-27

申请号：KR1020160170269

申请日：2016-12-14

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 김지현 ,  이건엽

IPC: H01L29/16 ,  H01L21/3065 ,  H05H1/46 ,  H01L21/02 ,  C01B31/04

CPC classification number: H01L29/1606 ,  C01B32/20 ,  H01L21/02315 ,  H01L21/3065 ,  H05H1/46

Abstract: 본발명은흑린식각장치에관한것으로, 본발명의제1 실시예에따른흑린식각장치는하면에흑린단편(1)이고정되는기판(10), 내부에기판(10)을수용하는반응챔버(20), 반응챔버(20)의바닥면으로부터흑린단편(1)이이격되도록, 기판(10)을지지하는지지대(30), 휘발성부산물을생성하는공정가스(40); 및공정가스(40)를공급받아플라즈마를유도하고, 플라즈마를기판(10)의상면으로분사하여, 플라즈마이온확산에의해흑린단편(1)을식각하는플라즈마발생기(50)를포함한다.

Abstract translation: 根据本发明第一实施例的黑色蚀刻设备包括在下表面上成为黑化片1的基板10和反应室（未示出） 20表示用于保持基板10使得黑色块1与反应室20的底面间隔开的支撑件30，用于产生挥发性副产物的处理气体40; 等离子体发生器50用于向衬底10的上表面提供等离子体并通过等离子体离子扩散来蚀刻黑色块1。