公开(公告)号：KR1020090084318A

公开(公告)日：2009-08-05

申请号：KR1020080010408

申请日：2008-01-31

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 성윤모 ,  최승혁 ,  이미림 ,  김인기 ,  이동기 ,  노경민

IPC: G01N27/12 ,  B82B3/00 ,  B82Y15/00

Abstract: A gas sensor manufacturing method for absorbing the target gas of the huge amount is provided to enlarge the surface area of the sensor by attaching the nanopowder of the metal oxide group on metal oxide nano wires. A gas sensor manufacturing method for absorbing the target gas of the huge amount is as follows. A metal oxide nanowire(220) is formed at a metal substrate. The vapor is congealed on the surface of the nanowire. Porous powder(230) is absorbed to the surface of the nanowire in which the vapor is congealed.

Abstract translation: 提供了用于吸收大量目标气体的气体传感器制造方法，通过将金属氧化物基团的纳米粉末附着在金属氧化物纳米线上来扩大传感器的表面积。 用于吸收大量目标气体的气体传感器制造方法如下。 在金属基板上形成金属氧化物纳米线（220）。 蒸气凝结在纳米线的表面上。 多孔粉末（230）被吸收到蒸气凝结的纳米线的表面。

公开(公告)号：KR100932596B1

公开(公告)日：2009-12-17

申请号：KR1020080010408

申请日：2008-01-31

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 성윤모 ,  최승혁 ,  이미림 ,  김인기 ,  이동기 ,  노경민

IPC: G01N27/12 ,  B82B3/00 ,  B82Y15/00

Abstract: 본 발명은 가스센서 제조 방법에 관한 것으로, 고감도의 가스 센서를 제조하기 위하여, 백금 금속 기판 상에 물리적 기상 증착법을 이용하여 금을 얇게 입히고 열처리 공정을 수행하여 나노와이어(Nanowire) 시드를 형성하고, 금속산화물을 화학적 기상 증착법으로 도포하여 상기 시드를 이용하여 가스센서의 감지부가 되는 나노와이어를 성장시키고, 나노와이어의 표면에 수증기를 응결시킨 후 나노와이어 표면에 금속산화물 분말을 흡착시킴으로써, 가스센서가 목표 기체와 접촉하는 표면적이 최대가 되도록 하는 발명에 관한 것이다.

Abstract translation: 提供一种用于吸收大量目标气体的气体传感器制造方法，以通过将金属氧化物基团的纳米粉末附着在金属氧化物纳米线上来扩大传感器的表面积。 用于吸收巨量目标气体的气体传感器制造方法如下。 金属氧化物纳米线（220）形成在金属基底处。 蒸气凝结在纳米线的表面上。 多孔粉末（230）被吸附到蒸气被凝结的纳米线表面。