신축 가능한 봉지재
    1.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2022108266A1

    公开(公告)日:2022-05-27

    申请号:PCT/KR2021/016604

    申请日:2021-11-15

    Abstract: 개시된 본 발명에 의한 신축 가능한 봉지재는, 신축 가능한 주름 구조를 가지는 주름부 및 주름부에 밀착되어 주름부를 포장하는 포장부를 포함하며, 주름부는 유기물질 및 무기물질이 상호 적층되는 다층구조로 마련된다. 이러한 구성에 의하면 계층적인 구조로 인해 높은 신축성과 함께, 다층구조의 유기물질 및 무기물질의 복합구조로 인해 높은 신축성과 함께 낮은 가스 및 수분 투과도를 가질 수 있다.

    이색성 물질을 이용한 자외선 검출기

    公开(公告)号:WO2019045428A1

    公开(公告)日:2019-03-07

    申请号:PCT/KR2018/009941

    申请日:2018-08-29

    Inventor: 한창수 조성환

    CPC classification number: G01J1/04 G01J1/42

    Abstract: 자외선 필터부, 색변환 발생부, 및 이색성 물질을 이용한 자외선 검출기가 개시된다. 상기 자외선 검출기는 자외선을 투과시키는 자외선 필터부와, 상기 자외선 필터부를 통과한 자외선을 흡수하여 색변환 물질을 여기시켜 특정 파장대의 빛을 발생시키는 발광부와, 상기 발광부에서 발생한 빛을 투과시키고, 가시광선을 선택적으로 반사 및 투과시키는 이색성 필터부를 포함한다.

    나노 박막 패턴 구조물의 제조 방법
    3.
    发明授权
    나노 박막 패턴 구조물의 제조 방법 有权
    纳米薄膜图案结构的制作方法

    公开(公告)号:KR101789921B1

    公开(公告)日:2017-10-26

    申请号:KR1020160057751

    申请日:2016-05-11

    Abstract: 나노박막패턴구조물의제조방법에있어서, 제1 트렌치평균선폭을갖는요철패턴이형성된베이스의표면위에상기요철패턴의프로파일을따라스페이서재료층을형성하여상기제1 트렌치평균선폭보다감소된제2 트렌치평균선폭을갖는나노임프린팅스탬프를준비한후, 상기나노임프린팅스탬프를이용하는패터닝공정의대상체로서, 기판상에나노박막, 희생층및 레지스트층을순차로형성한다. 상기레지스트층을향하여상기나노임프린팅스탬프를가압하여예비레지스트층패턴을형성한후, 상기예비레지스트층패턴및 희생층을이방성식각하여상기나노박막의상면을노출시키는레지스트층패턴및 희생층패턴을각각형성한다. 상기레지스트층패턴및 상기희생층패턴을마스크로이용하여상기나노박막을식각하여상기기판상에나노박막패턴을형성한다.

    Abstract translation: 在用于生产纳米薄膜图案结构,基座凹凸图案的表面上的第一沟槽的方法形成了具有根据凹凸图案的轮廓的平均线宽度,以形成与所述第一减速比所述第二沟槽的沟槽平均线宽间隔材料层 制备具有平均线宽的纳米压印印模,使用纳米压印印模,纳米薄膜,所述牺牲层和以该顺序在基底上的抗蚀剂层中形成图案化工艺的受试者后。 形成预抗蚀剂层图案的对抗蚀剂层按压纳米压印印模后,将抗蚀剂层图案和牺牲层图案,以通过各向异性蚀刻所述预致抗蚀剂层图案和牺牲层暴露所述纳米薄膜的上表面上, 形式,分别。 使用抗蚀剂层图案和牺牲层图案作为掩模来蚀刻纳米薄膜以在衬底上形成纳米薄膜图案。

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