금속 나노스프링 및 이의 제조방법

    公开(公告)号:KR101916588B1

    公开(公告)日:2018-11-07

    申请号:KR1020170059757

    申请日:2017-05-15

    Abstract: 본발명의일 실시예에따른금속나노스프링의제조방법은, 나노기공을가지며, 일면에작업전극을가지는나노템플릿(nano template)을준비하는단계; 아스코르브산 (Ascorbic acid; CHO), 바나듐(IV) 옥사이드설페이트(VOSO·xHO) 및증착하고자하는금속을포함하는금속전구체용액을포함하는제1 금속전구체혼합액을준비하는단계; 상기제1 금속전구체혼합액에질산(Nitric acid; HNO)을혼합하여제2 금속전구체혼합액을준비하는단계; 상기제2 금속전구체혼합액에상기나노템플릿을침지하고, 상기제2 금속전구체혼합액에삽입된상대전극(counter electrode)과상기작업전극사이에전류를인가하여전기도금방식으로상기나노기공에금속나노스프링을증착시키는단계; 및상기금속나노스프링이증착된나노템플릿에서상기작업전극및 상기나노템플릿을선택적으로제거하는단계;를포함한다.

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