이중 앵커와 주름진 멤브레인 구조를 갖는 RF MEMS 스위치 및 그 제조방법

    公开(公告)号:KR101804412B1

    公开(公告)日:2018-01-10

    申请号:KR1020160050174

    申请日:2016-04-25

    Abstract: 본발명은동작전압을낮추기위하여주름진구조의멤브레인의복원력을높이기위하여이중앵커구조를가지는 RF MEMS 스위치및 그제조방법에대한것으로써신뢰성향상을위해새로운구조의정전용량형스위치를제안하고자동작전압을낮추기위하여주름진구조의멤브레인을사용하였고, 복원력을높이기위하여이중앵커구조를사용한이중앵커와주름진멤브레인구조를가짐으로써낮은바이어스전압에서도높은복원력을가져빠른스위칭속도를발휘할수 있는 RF MEMS 스위치및 그제조방법을제공하는데그 목적이있다.

    이중 앵커와 주름진 멤브레인 구조를 갖는 RF MEMS 스위치 및 그 제조방법
    5.
    发明公开
    이중 앵커와 주름진 멤브레인 구조를 갖는 RF MEMS 스위치 및 그 제조방법 有权
    具有双锚和波纹膜结构的RF MEMS开关及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020170121556A

    公开(公告)日:2017-11-02

    申请号:KR1020160050174

    申请日:2016-04-25

    CPC classification number: H01H59/00 B81B2201/01 H01H59/0009 H01H2059/009

    Abstract: 본발명은동작전압을낮추기위하여주름진구조의멤브레인의복원력을높이기위하여이중앵커구조를가지는 RF MEMS 스위치및 그제조방법에대한것으로써신뢰성향상을위해새로운구조의정전용량형스위치를제안하고자동작전압을낮추기위하여주름진구조의멤브레인을사용하였고, 복원력을높이기위하여이중앵커구조를사용한이중앵커와주름진멤브레인구조를가짐으로써낮은바이어스전압에서도높은복원력을가져빠른스위칭속도를발휘할수 있는 RF MEMS 스위치및 그제조방법을제공하는데그 목적이있다.

    Abstract translation: 本发明是一种操作电压是提出具有用于提高可靠性作为用于RF MEMS开关及其制造具有双锚结构中的相同,以提高该膜以降低操作电压的褶皱结构的弹性的方法的新结构的电容式开关, 作为波纹结构的膜,以便通过具有双锚和波纹状的膜结构具有双锚结构,以提高,即使在低偏置电压的RF MEMS开关,其表现出更快的开关速度带来高回弹性和用于生产过程中的弹性降低,该方法 目的是提供。

    할바흐 배열을 이용한 전자기 하베스터
    6.
    发明公开
    할바흐 배열을 이용한 전자기 하베스터 无效
    采用Halbach电磁收割机

    公开(公告)号:KR1020170117816A

    公开(公告)日:2017-10-24

    申请号:KR1020160045734

    申请日:2016-04-14

    Abstract: 본발명은자석을이용하여전자기를유도하는방식의에너지하베스터에대한것으로, 유도기전력발전부, 증속기어부를포함할수 있으며, 이를통해할바흐배열로정렬된적어도하나의자석과적어도하나이상의 2단평기어를이용하여특정주파수에상관없이낮은주파수의직선운동을높은주파수의회전운동으로바꾸어유도기전력을발생시키는에너지하베스터를제공하는것을그 목적이있다.

    Abstract translation: 本发明用于使用磁铁,感应电动势的发电引起的电子的方法的能量采集器,并且可以包括增速齿轮单元的部分,这巴赫布置在至少一个磁铁和至少一个第二COMMENTS齿轮设置成可通过 并且通过将低频的线性运动转换成高频旋转运动来产生感应电动势,而与特定频率无关。

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