公开(公告)号：WO2016144107A1

公开(公告)日：2016-09-15

申请号：PCT/KR2016/002376

申请日：2016-03-10

Applicant: 엔비스아나(주) ,  전필권 ,  구대환

Inventor： 전필권 ,  구대환 ,  박준호 ,  박상현 ,  성용익

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/02

Abstract: 본 발명에 따른 기판 오염물 분석 장치는, 분석 대상 기판에서 스캔 노즐을 이용하여 스캔한 샘플 용액을 상기 스캔 노즐로부터 분석기까지 유로를 통하여 이송하는 기판 오염물 분석 장치로서, 상기 샘플 용액이 로딩될 공간을 가진 샘플 튜브; 상기 샘플 튜브와 결합되며 상기 샘플 용액이 상기 샘플 튜브에 로딩되는 로드 포지션과 상기 로딩된 상기 샘플 용액을 상기 분석기쪽으로 인젝션하는 인젝션 포지션을 적어도 가지는 스위칭 밸브;를 포함하되, 상기 샘플 용액이 상기 샘플 튜브에 로딩됨에 있어서 상기 샘플 용액의 전·후에는 기체 구간을 포함하며, 상기 샘플 튜브에 설치되어 상기 기체 구간과 상기 샘플 용액을 구별하여 감지하는 감지 센서;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

Abstract translation: 本发明的基板污染物分析装置，其是将通过扫描喷嘴在待分析基板上扫描的样品溶液从扫描喷嘴通过流体从扫描喷嘴传送到分析器的基板污染物分析装置 包括：具有待加样品溶液的空间的样品管; 以及耦合到所述样品管的切换阀，所述切换阀至少具有将样品溶液装载到样品管中的负载位置和所述装载的样品溶液从所述注射位置朝向所述分析器注入，其中所述基底污染物分析装置包括 当样品溶液装载到样品管中时，样品溶液前后的气体间隔，并且还包括安装在样品管中的感测传感器，用于感测与样品溶液明显不同的气体间隔。

公开(公告)号：KR1020160121091A

公开(公告)日：2016-10-19

申请号：KR1020150050586

申请日：2015-04-10

Applicant: 엔비스아나(주) ,  전필권 ,  구대환

Inventor： 전필권 ,  구대환 ,  박준호 ,  박상현 ,  성용익

IPC: H01L21/66

Abstract: 본발명에따른기판오염물분석방법은, 분석대상기판을식각하기위한에칭용액의액적과상기에칭용액의희석을위한희석용액의액적을상기분석대상기판상으로시간간격을두고순차공급하는과정을포함하며, 상기에칭용액및 상기희석용액은유로를통하여상기노즐로이송되는것을특징으로한다. 본발명에따르면, 웨이퍼의특정지점에서깊이방향의프로파일을얻을수 있는효과가있으며, 특히에칭용액을스캔용액으로희석함으로써에칭용액만을사용하는경우에비하여시료의양을증대시키며이에따라분석기에서의분석을보다용이하게할 수있고오염물의잔류현상을저감할수 있는효과가있다.

公开(公告)号：KR101756456B1

公开(公告)日：2017-07-11

申请号：KR1020150050586

申请日：2015-04-10

Applicant: 엔비스아나(주) ,  전필권 ,  구대환

Inventor： 전필권 ,  구대환 ,  박준호 ,  박상현 ,  성용익

IPC: H01L21/66

Abstract: 본발명에따른기판오염물분석방법은, 분석대상기판을식각하기위한에칭용액의액적과상기에칭용액의희석을위한희석용액의액적을상기분석대상기판상으로시간간격을두고순차공급하는과정을포함하며, 상기에칭용액및 상기희석용액은유로를통하여상기노즐로이송되는것을특징으로한다. 본발명에따르면, 웨이퍼의특정지점에서깊이방향의프로파일을얻을수 있는효과가있으며, 특히에칭용액을스캔용액으로희석함으로써에칭용액만을사용하는경우에비하여시료의양을증대시키며이에따라분석기에서의분석을보다용이하게할 수있고오염물의잔류현상을저감할수 있는효과가있다.

公开(公告)号：KR1020160109993A

公开(公告)日：2016-09-21

申请号：KR1020150085305

申请日：2015-06-16

Applicant: 엔비스아나(주) ,  전필권 ,  구대환

Inventor： 전필권 ,  구대환 ,  박준호 ,  박상현 ,  성용익

IPC: H01L21/66

Abstract: 본발명에따른기판오염물분석장치는, 분석대상기판에서스캔노즐을이용하여스캔한샘플용액을상기스캔노즐로부터분석기까지유로를통하여이송하는기판오염물분석장치로서, 상기샘플용액이로딩될공간을가진샘플튜브; 상기샘플튜브와결합되며상기샘플용액이상기샘플튜브에로딩되는로드포지션과상기로딩된상기샘플용액을상기분석기쪽으로인젝션하는인젝션포지션을적어도가지는스위칭밸브;를포함하되, 상기샘플용액이상기샘플튜브에로딩됨에있어서상기샘플용액의전·후에는기체구간을포함하며, 상기샘플튜브에설치되어상기기체구간과상기샘플용액을구별하여감지하는감지센서;를더 포함하는것을특징으로한다. 본발명에따르면샘플용액이샘플튜브에도착하는것에맞추어서감지하여로딩할수 있으므로, 샘플용액의정확한로딩이가능하고샘플용액의손실을방지하며, 보다적은샘플용액을사용해도되고스캔노즐로부터샘플튜브까지고속으로이동해도되는효과가있다.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于分析基底污染物的装置和方法，以使用待分析的基底上的扫描喷嘴将扫描的样品溶液从扫描喷嘴通过流动路径传送到分析器。 该装置包括：具有加载样品溶液的空间的样品管; 与样品管组合的切换阀，并且至少具有将样品溶液装载到样品管中的装载位置和用于将加载的样品溶液注入分析仪侧的注射位置，其中在前后包括气体部分 当样品溶液装入样品管中时，样品溶液; 以及安装在样品管中的检测传感器，以区分气体部分和样品溶液，并进行检测。 根据本发明，当样品溶液到达样品管时，可以检测和加载样品溶液，从而可以实现样品溶液的正确加载，防止样品溶液的损失，较少量的样品溶液可以 并且允许样品溶液以高速从扫描喷嘴移动到样品管。

公开(公告)号：KR101653987B1

公开(公告)日：2016-09-05

申请号：KR1020150050587

申请日：2015-04-10

Applicant: 엔비스아나(주) ,  전필권 ,  구대환

Inventor： 전필권 ,  구대환 ,  박준호 ,  박상현 ,  성용익

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/683 ,  H01L21/324 ,  H01L21/02

Abstract: 본발명에따른기판오염물분석장치는, 오염물의포집에앞서서분석대상웨이퍼의벌크를기상분해하기위한기상분해유닛을포함하는것으로서, 상기기상분해유닛은, 중앙상부에식각가스를도입하기위한식각가스도입부를구비하는챔버; 상기챔버내에서상기분석대상웨이퍼를적어도승강시키는기능을수행하는웨이퍼척;을포함하며, 상기웨이퍼척에의해서상기분석대상웨이퍼를상승시키면상기분석대상웨이퍼와상기챔버의상부측내면사이에에칭가스반응공간을구성하게되며, 상기에칭가스반응공간은중심부가높고주변부로갈수록낮아지는형상으로되는것을특징으로한다. 본발명에따르면, 웨이퍼와챔버의상부측내면사이에에칭가스반응공간을구성함으로써, 벌크에대한기상분해에있어서반응효율을개선하고반응속도를조절할수 있으며, 에칭가스반응공간의중심부가높고주변부로갈수록낮아지는반응공간을구성함으로써 etch uniformity를개선하는효과가있다.

Abstract translation: 根据本发明，用于分析衬底污染物的装置包括气态分解单元，以分解以气体形式分析的晶片的大部分。 气体分解单元包括：具有设置在其中间的上部的蚀刻气体引入单元以引入蚀刻气体的室; 以及晶片卡盘，以执行至少提升在腔室中要分析的晶片的功能。 当要分析的晶片被晶片卡盘提升时，在待分析的晶片和腔的上侧的内表面之间形成蚀刻气体反应空间。 蚀刻气体反应空间具有其中间部分高且其高度朝向其边缘变低的形状。 根据本发明，蚀刻气体反应空间形成在晶片和腔室上侧的内表面之间，以提高反应效率并调节以气体形式分解本体的反应速度。 蚀刻气体反应空间的中间部分高，并且蚀刻气体反应空间的高度朝向蚀刻气体反应空间的边缘变低，以提高蚀刻均匀性。

公开(公告)号：KR100773334B1

公开(公告)日：2007-11-05

申请号：KR1020060039102

申请日：2006-04-29

Applicant: 구대환

Inventor： 구대환

IPC: B02C23/08 ,  B02C2/00 ,  B07B1/22 ,  B09B3/00

CPC classification number: Y02W30/58

Abstract: 본 발명은 건설폐기물의 처리장치에 관한 것으로, 더욱 자세히 설명하면, 건설폐기물의 처리하는 과정에서 콘크러셔(corn crusher) 또는 밀크러셔(mill crusher)에 의해 폐콘크리트 덩어리가 파쇄하는 경우, 순수한 콘크리트는 콘크러셔에 의해 세팅된 일정한 지름을 가지고 파쇄되어 조각으로 배출되는 것에 비하여, 폐콘크리트에 포함되어 있는 나무프레임, 고형화된 플라스틱자재, 석고보드판넬 등의 이물질은 콘크리트 조각과 같이 일정한 세팅된 지름의 범위내에서 파쇄되지 않고 길쭉하거나 너덜너덜한 형태로 파쇄되어 배출되는데, 이러한 방식으로 콘크러셔에 의해 파쇄되어 배출된 콘크리트 조각들과 이물질을 분리하여 선별하는 건설폐기물 처리장치에 관한 것이다.
폐기물

公开(公告)号：KR1020070008376A

公开(公告)日：2007-01-17

申请号：KR1020060014901

申请日：2006-02-16

Applicant: 구대환

Inventor： 구대환

IPC: B07B1/28 ,  B07B1/04 ,  B07B1/30 ,  B07B1/00

CPC classification number: B07B1/30 ,  B02C23/08 ,  B07B1/04

Abstract: A feeder equipped with a plurality of beams is provided to simplify a treatment process and to reduce the treatment cost and time by separating the construction waste materials larger or smaller than a gap between H-beams before executing a first crushing process in a crusher. The feeder equipped with a plurality of beams(50) is composed of a driving unit(40) having a motor and generating vibration by the rotation of the motor and a rectangular box-shaped feeder unit(5) fixed on the driving unit and formed with one surface opened to discharge the construction waste material and an upside opened to receive the construction waste material. The feeder unit moves and discharges the construction waste material in one direction by vibration applying force to one of the left and right sides. Plural reinforcing bar beams are fixed on side plates(10) at regular intervals in the middle height of the inside of the feeder unit. When the construction waste materials are put into the feeder unit, the construction waste materials larger than a gap between the beams are vibrated and transferred on the beams. The construction waste materials smaller than a gap between the beams are fallen down on the bottom side of the feeder unit, and vibrated and transferred.

Abstract translation: 提供配备有多个梁的馈线，以便在破碎机中执行第一破碎过程之前，通过分离大于或小于H型梁之间的间隙的建筑废料来简化处理过程并降低处理成本和时间。 具有多个梁（50）的供给装置由具有马达的驱动单元（40）和通过马达的旋转产生振动和固定在驱动单元上的矩形盒状馈送单元（5）构成， 其中一个表面打开以排出建筑废料并将其打开以接收施工废料。 给料单元通过向左右一侧的振动施加力，将施工废料沿一个方向移动并排出。 多个钢筋梁在进料单元内部的中间高度以规则的间隔固定在侧板（10）上。 当施工废料放入进料单元中时，大于梁之间的间隙的建筑废料振动并在梁上传递。 小于梁之间的间隙的建筑废料在供料单元的底侧下降，并振动和转移。

公开(公告)号：KR101581303B1

公开(公告)日：2016-01-11

申请号：KR1020150034647

申请日：2015-03-12

Applicant: 엔비스아나(주) ,  전필권 ,  구대환

Inventor： 전필권 ,  구대환 ,  박준호 ,  박상현 ,  성용익

IPC: H01L21/66

Abstract: 본발명에따른기판오염물분석장치는, 반도체제조공정중에있는모니터웨이퍼를도입받아기상분해한후 스캔노즐을이용하여상기모니터웨이퍼를스캔한샘플용액을상기스캔노즐로부터분석기까지유로를통하여이송하여상기분석기로써분석하는기판오염물분석장치로서, 상기스캔이종료된상기모니터웨이퍼를재활용하기위하여, 적어도산 계열또는염기계열의케미컬을포함하는용액으로처리하는리사이클링유닛;를포함하는것을특징으로한다. 본발명에따르면종래폐기되었던모니터웨이퍼를재사용할수 있으므로모니터웨이퍼의비용을대폭절감할수 있는효과가있다.

Abstract translation: 根据本发明的用于分析衬底污染物的装置是在半导体制造过程中接收监测晶片，以对其进行气相分解，并且将从扫描喷嘴扫描监测水的样品溶液从扫描 喷嘴通过流动分析仪进行分析，使分析仪分析相同。 该设备包括用于使用至少包含酸性或碱性化学品的溶液处理扫描完成的监视器晶片以循环扫描完成的监视器晶片的再循环单元。 根据本发明，由于传统的浪费的监视器晶片可以重复使用，所以可以大大降低监视晶片所需的成本。

公开(公告)号：KR100505795B1

公开(公告)日：2005-08-03

申请号：KR1020040057259

申请日：2004-07-22

Applicant: 구대환

Inventor： 구대환

IPC: B04C3/06

Abstract: 본 발명은 혼합물 분류장치에 관한 것으로, 더욱 자세히 설명하면, 건설폐기물 등과 같은 다양한 비중과 형상을 가지는 여러 가지 이물질로 구성된 혼합물로부터 합성수지류 등과 같이 중량이 작고 항력계수가 큰 물질을 풍력을 이용하여 선별적으로 제거할 수 있는 혼합물 분류장치에 관한 것이다.

公开(公告)号：KR100487181B1

公开(公告)日：2005-05-04

申请号：KR1020040006089

申请日：2004-01-30

Applicant: 구경신 ,  구대환 ,  구재일

Inventor： 구경신 ,  구재일 ,  구대환

IPC: B03B7/00 ,  B02C23/08 ,  B03B5/28 ,  B03B11/00

Abstract: 본 발명은 건설폐기물을 풍력 및 수력방식에 의해 비중 분리하므로서 각종 구조물 또는 건축재의 골재로 재생 처리하는 장치에 있어 풍력방식에 의한 일련의 비중분리장치의 구조를 개선함과 동시에 이를 수력방식에 의한 선별 세척장치인 수조탱크의 상방에 설치함으로서, 풍력에 의한 분리선별기능을 강화토록 하여 결과적으로 수조탱크에 의한 선별세척기능을 제고토록 하므로써 보다 능률적이면서도 콤팩트한 폐기물의 재활용 처리장치를 제공토록 한 것이다.