Patent search ap:("국민대학교산학협력단" OR "남정원") AND inv:"장현수" Page 1

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发明授权
회전 노즐 어셈블리 및 이를 포함하는 건식 세정 장치 有权

公开(公告)号：KR101975379B1

公开(公告)日：2019-05-07

申请号：KR1020170081834

申请日：2017-06-28

Applicant: 국민대학교산학협력단 , 남정원

Inventor： 장현수 , 김문영 , 남정원

IPC: H01L21/67 , B05B1/34 , B05B3/02

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