마이켈슨 간섭계의 이동반사경 틸트 보상시스템
    1.
    发明授权
    마이켈슨 간섭계의 이동반사경 틸트 보상시스템 有权
    迈克尔逊干涉仪移动反射镜倾斜补偿系统

    公开(公告)号:KR101806897B1

    公开(公告)日:2017-12-08

    申请号:KR1020160145888

    申请日:2016-11-03

    CPC classification number: G01J9/02 G01J2009/0284 G01N21/35 G01N2021/3595

    Abstract: 본발명은, 마이켈슨간섭계의이동반사경틸트보상시스템에관한것으로서, 서로이격되도록배치되는제1 및제2 프레임을포함하는하우징, 상기제1 및제2 프레임을각각관통하여상기제1 프레임과상기제2 프레임을서로연결하고, 상기하우징에이동가능하게장착되는동축, 상기동축의일 단부에장착되고, 상기동축의이동에의하여상기하우징의외측을향하여일 방향으로이동되는이동반사경, 상기제1 프레임과상기이동반사경사이에장착되는제1 판스프링및 상기제2 프레임의외측에장착되는제2 판스프링을포함하는한 쌍의판 스프링부및 상기제1 프레임과상기제2 프레임사이에배치되며, 상기동축이이동가능하도록상기동축에구동력을제공해주는구동부를포함하고, 상기이동반사경이상기일 방향으로이동하는경우특정강성을갖는상기한 쌍의판 스프링부에의하여상기일 방향의각도변경이제한되는것을특징으로하는이동반사경틸트보상시스템이제공될수 있다.

    Abstract translation: 本发明中,迈克尔逊涉及干涉仪的移动镜倾斜补偿的系统,所述壳体包括设置成远离彼此间隔开的第一mitje第二框架,通过所述第二帧分别与第一mitje,第一框架和第二 移动镜,安装在同轴轴的一端并连接到框架,并可移动地安装在壳体上,并且通过同轴轴的运动可朝向壳体的外部在一个方向上移动, 设置在第1板簧和一对板簧部和所述第一框架和安装在所述第二框架的外侧的第二框架包括第二板簧之间将被安装在可动反射器之间,所述 并且,驱动单元以同轴轴能够移动的方式对同轴轴线赋予驱动力,当可动反射镜向理想轴的方向移动时, 是可以提供根据权利要求移动反射镜倾斜补偿系统的单向限制的角度变化。

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