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公开(公告)号：KR101300028B1
公开(公告)日：2013-08-29
申请号：KR1020110110909
申请日：2011-10-28
Applicant: 국방과학연구소
Abstract: 본 발명은 자성 박막과 평면형 출력 코일을 수차례 교차시켜 높은 자계 출력 감도와 우수한 자계 분해능을 갖는 박막 직교형 플럭스게이트 센서 소자에 관한 것으로서,
구동전류를 인가하기 위한 한 쌍의 입력 전극(11)과; 전류가 인가될 경우 여자 자계를 발생하는 자성체 박막(10)과; 양단이 입력 전극에 각각 연결되며 자성체 박막을 길이 방향으로 관통하는 입력선(15)과; 자성체 박막에 수차례 반복하여 직교 형태로 교차하도록 배치된 미로구조의 한 쌍의 평면형 검출 코일(20)과; 평면형 검출 코일의 끝단에 각각 형성되는 한 쌍의 검출 전극(25)과; 평면형 검출 코일의 단부를 전기적으로 직렬 연결하는 연결도선(21)과; 자성체 박막과 입력선 및 평면형 검출 코일을 각각 전기적으로 절연하는 절연체막(30);을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 따라 입력선을 형성하는 도전성 박막을 자성체 박막이 둘러싸고 있는 샌드위치 구조를 형성하게 되므로, 전류의 통전과 자화의 구분이 가능하게 되고 그로 인해 센서가 고감도로 동작하게 되며, 평면형 검출 코일이 다층 구조를 이루게 되어 센서의 감도가 향상되고 저전력 구동이 가능하게 되는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR101259432B1
公开(公告)日：2013-04-30
申请号：KR1020110110908
申请日：2011-10-28
Applicant: 국방과학연구소
Abstract: PURPOSE: A vertical flux gate sensor using an amorphous magnetic wire is provided to facilitate an electrical connection with an electrode. CONSTITUTION: An amorphous magnetic wire(10) forms an excited magnetic field in the columnar direction when a current is applied. A substrate(20) includes the amorphous magnetic wire. An IO electrode(11,12) is formed in both ends of the amorphous magnetic wire, is electrically connected to an electrode(25) formed on the substrate, and is formed by electric plating.
Abstract translation: 目的：提供使用非晶磁线的垂直磁通门传感器，以便于与电极的电连接。 构成：当施加电流时，非晶磁线（10）在柱状方向上形成激发的磁场。 衬底（20）包括非晶磁性线。 在非晶磁线的两端形成有IO电极（11,12），电连接到形成在基板上的电极（25），并通过电镀形成。
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公开(公告)号：KR1020130046485A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：KR1020110110909
申请日：2011-10-28
Applicant: 국방과학연구소
Abstract: PURPOSE: A thin film orthogonal flux gate sensor element is provided to employ a flat type detection coil with a magnetic thin film to simplify manufacturing processes and reduce the magnetic reluctance of the magnetic field, thereby facilitating the high sensitivity. CONSTITUTION: A sensor element comprises an input electrode(11), a magnetic thin film(10), an input line(15), a flat type detection coil(20), a detection electrode(25), a connecting conductive wire(21), and an insulator film(30). The input electrode applies the driving current. The magnetic thin film generates the exciter magnetic field when applying the current. The both ends of the input line is connected to the input electrode and penetrates the magnetic thin film in a longitudinal direction. The flat type detection coil is comprised of a pair of the same, and is formed in a maze structure in a several times of repetitive orthogonal form in the magnetic thin film. The detection electrode is comprised of a pair the same and is formed in the end of the flat type detection coil. The connecting conductive wire electrically cascade connects an end of the flat type detection coil. The insulator film electrically insulates the magnetic thin film, the input line and the flat type detection coil.
Abstract translation: 目的：提供薄膜正交磁通门传感器元件以采用具有磁性薄膜的平面型检测线圈，以简化制造工艺并降低磁场的磁阻，从而有助于高灵敏度。 构成：传感器元件包括输入电极（11），磁性薄膜（10），输入线（15），平面型检测线圈（20），检测电极（25），连接导线 ）和绝缘膜（30）。 输入电极施加驱动电流。 当施加电流时，磁性薄膜产生激励器磁场。 输入线的两端连接到输入电极，并在纵向方向上穿透磁性薄膜。 扁平型检测线圈由一对相同，并且在磁性薄膜中以几次重复正交形式形成为迷宫结构。 检测电极由一对构成，并形成在扁平型检测线圈的端部。 电连接的连接导线连接扁平型检测线圈的一端。 绝缘膜将磁性薄膜，输入线和平面型检测线圈电绝缘。
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