公开(公告)号：KR102133367B1

公开(公告)日：2020-07-13

申请号：KR1020190019454

申请日：2019-02-19

Applicant: 국방과학연구소

Inventor： 권호상 ,  장성재 ,  이상흥 ,  임종원 ,  최준호 ,  양진모

IPC: H01L29/778 ,  H01L21/8234 ,  H01L21/768 ,  H01L21/324 ,  H01L29/66

公开(公告)号：KR101985897B1

公开(公告)日：2019-06-04

申请号：KR1020170173155

申请日：2017-12-15

Applicant: 국방과학연구소

Inventor： 김지헌 ,  양진모 ,  장성재 ,  임종원 ,  윤형섭 ,  이상흥

IPC: H01L29/66 ,  H01L29/778 ,  H01L21/324 ,  H01L21/768