公开(公告)号：KR101585924B1

公开(公告)日：2016-01-18

申请号：KR1020140012505

申请日：2014-02-04

Applicant: 국방과학연구소

Inventor： 이만영 ,  최광표 ,  성경필 ,  김종흠 ,  박성현 ,  정지환 ,  김정일

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/44

Abstract: 본발명은내부를유동하는가스가균일한흐름을갖고외부부터이물질이유입되는것을방지할수 있는탄화규소써멀화학기상증착장치의가스반응로에관한것이다. 본발명에따른탄화규소써멀화학기상증착장치의가스반응로는, 반응가스를공급하는가스공급부(2)와, 상기가스공급부(2)로부터공급된가스가유동하면서내부에수용된피코팅제품가코팅되는가스반응로(3)를포함하는탄화규소써멀화학기상증착장치에있어서, 상기가스반응로(3)는, 내부가중공으로형성되는외부머플(10)과, 상기외부머플(10)의내부에수용되고, 상기제품에거치되며, 내부를유동하는반응가스가균일한흐름을갖도록하는가스균일화수단이설치되는내부머플(20)와, 상기외부머플(10)의하부에위치하여제품을지지하는제품테이블(30)을포함하는것을특징으로한다.

公开(公告)号：KR1020150091823A

公开(公告)日：2015-08-12

申请号：KR1020140012505

申请日：2014-02-04

Applicant: 국방과학연구소

Inventor： 이만영 ,  최광표 ,  성경필 ,  김종흠 ,  박성현 ,  정지환 ,  김정일

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/44

CPC classification number: C23C16/455

Abstract: 본 발명은 내부를 유동하는 가스가 균일한 흐름을 갖고 외부부터 이물질이 유입되는 것을 방지할 수 있는 탄화규소 써멀 화학기상증착장치의 가스반응로에 관한 것이다.
본 발명에 따른 탄화규소 써멀 화학기상증착장치의 가스반응로는, 반응가스를 공급하는 가스공급부(2)와, 상기 가스공급부(2)로부터 공급된 가스가 유동하면서 내부에 수용된 피코팅제품가 코팅되는 가스반응로(3)를 포함하는 탄화규소 써멀 화학기상증착장치에 있어서, 상기 가스반응로(3)는, 내부가 중공으로 형성되는 외부머플(10)과, 상기 외부머플(10)의 내부에 수용되고, 상기 제품에 거치되며, 내부를 유동하는 반응가스가 균일한 흐름을 갖도록 하는 가스균일화수단이 설치되는 내부머플(20)와, 상기 외부머플(10)의 하부에 위치하여 제품을 지지하는 제품테이블(30)을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Abstract translation: 本发明涉及一种碳化硅热化学气相沉积设备的气体反应器，其能够使内部流动的气体具有均匀的流动，并且防止异物从外部流入。 根据本发明，碳化硅热化学气相沉积设备的气体反应器包括：供应反应气体的气体供应部分（2）; 和气体反应器（3），其中从气体供应部分（2）供应的气体流动时，涂覆容纳在内部的涂覆产品。 气体反应器（3）包括：内部空心的外部马弗炉（10）; 安装在所述产品上的内部马弗炉（20），其安装在所述外部马弗炉（10）的内部，其中安装有使内部流动的反应气体具有均匀流量的气体均衡装置; 以及位于外部马弗炉（10）的下部以支撑产品的产品台（30）。