公开(公告)号：KR102261836B1

公开(公告)日：2021-06-08

申请号：KR1020190084041

申请日：2019-07-11

Applicant: 국방과학연구소

Inventor： 권호상 ,  최준호 ,  양진모 ,  정현욱 ,  임종원 ,  이상흥

IPC: H01L29/66 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/02 ,  H01L21/288 ,  H01L21/311 ,  H01L21/033

公开(公告)号：KR102165249B1

公开(公告)日：2020-10-13

申请号：KR1020190019453

申请日：2019-02-19

Applicant: 국방과학연구소

Inventor： 권호상 ,  정현욱 ,  임종원 ,  최준호 ,  양진모 ,  이상흥

IPC: H01L29/66 ,  G03F7/11 ,  H01L21/02 ,  H01L21/8234 ,  H01L29/778 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/311